橢偏儀在位表征電化學沉積的係統搭建（二十三）- 全波段沉積過程的準在位測試分析-不同沉積時間所對應的

正文

橢偏儀(yi) 在位表征電化學沉積的係統搭建（二十三）- 全波段沉積過程的準在位測試分析-不同沉積時間所對應的橢偏參數

1、不同沉積時間所對應的橢偏參數Psi、Delta、R

圖4-5是得到的不同沉積時間橢偏參數Psi和Delta及反射率R隨著波長的變化，對比0s的圖線，Psi、Delta、α及R值在整體(ti) 上都是減小的，整體(ti) 趨勢較相似，但存在峰位的增加及峰位的移動。從(cong) 圖4-5(a、e)來看，與(yu) 0s相比，不同沉積時間Psi值隨波長的變化趨勢的大致相同。不同沉積時間的Psi值在300nm到500nm波段變化較小，相較於(yu) 0s時在330nm處出現峰位。沉積時間為(wei) 180s時，波長在500-800nm的長波範圍，其值從(cong) 襯底的44°減小到30°左右。在沉積時間增加到540s、900s、1080s時，在約540nm處出現一個(ge) 較明顯的波包。不同時間測試得到的Psi值有變化，這也意味測試的基底表麵發生了變化。圖4-5(b、f)中顯示橢偏參數Delta值隨著時間的變化與(yu) 橢偏參數Psi的趨勢一致。在長波500-800nm的範圍內(nei) 得到的不同時間的Delta值從(cong) Au襯底所對應120°減小到70°附近。當沉積時間增加到540s、900s、1080s時，約在540nm處出現較明顯的峰位。Delta值同樣顯示出測試基底表麵發生了改變。圖4-5(c、g)是吸收係數α隨不同沉積時將隨波長的變化，和0s相比，整體(ti) 上變化趨勢相似，但是在數值及吸收波包上存在變化。在300-500nm波段不同沉積時間變化趨勢及數值比較接近，且都在大約330nm處出現新的吸收波包。在500-800nm波段，540s、900s、1080s都在500-550nm波段出現新的波包且隨著時間的增加存在紅移現象。數值的變化及新的吸收波包的出現，可能是由於(yu) 沉積的CU₂O帶來的，有待進一步驗證。圖4-5(d、h)中顯示反射係數R值隨著時間的變化，其變化規律和吸收率相似。當沉積時間為(wei) 180s的時候，R的值大約從(cong) Au基底的1附近降為(wei) 0.3左右，在波長為(wei) 300-500nm之間存在兩(liang) 個(ge) 波包(330nm，400nm),在波長為(wei) 500-800nm之間存在兩(liang) 個(ge) 波包(540nm，630nm)。當沉積時間為(wei) 360s時與(yu) 180s的曲線很接近，但是在長波500-800nm減為(wei) 1個(ge) 較明顯的波包，大約在600nm附近。當沉積時間增加到540s時，在500nm-800nm範圍出現兩(liang) 個(ge) 比180s更大的波包(510nm，660nm)。到720s時，R值隨波長的變化與(yu) 360s一致。到900s和1080s時，R值隨波長的變化與(yu) 540s一致，但500nm到800nm的兩(liang) 個(ge) 波包峰位有所變化。總體(ti) 上看，在短波段R值隨著沉積時間的變化十分微小且曲線比較光滑，但是在長波段會(hui) 隨著沉積時間的不同上下波動且曲線本身也存在波動。說明長波對基底表麵變化更敏感，對測試信息影響更大。對比文獻中Au的反射率知道其在長波段的反射率接近1與(yu) 0s時的R相似，故認為(wei) 在沒有沉積之前整個(ge) 池體(ti) 橢偏數據主要反應的是Au基底的信息。與(yu) 沉積0s相比，不同沉積時間的反射率R減小，說明Au襯底的信息減少，這是由於(yu) CU₂O的沉積導致。

圖4-5不同沉積時間(180s,360s,720s,1080s)的橢偏數據：

(a，e)Psi；

(b，f)Delta；

(c，g)α；

(d，h)R

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