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相位偏折術/PDM/偏折測量(Deflectometry)技術簡介

發布時間:2024-06-26 10:31:17 瀏覽量:1691 作者:Jack

摘要

偏折測量技術(PDM)又稱為(wei) 相位偏折術或條紋反射法,是一種非接觸式、低成本、高魯棒性且高精度的麵形測量技術,絕對檢測精度可達10-20nm RMS,可以用於(yu) 平麵、球麵、非球麵、離軸拋物麵、自由曲麵等麵型的高精度檢測。具有測量角度大、非接觸、精度高、速度快等特點。

正文


相位偏折術/PDM/偏折測量(Deflectometry)技術簡介


摘要:

偏折測量技術(PDM)又稱為(wei) 相位偏折術或條紋反射法,是一種非接觸式、低成本、高魯棒性且高精度的麵形測量技術,絕對檢測精度可達10-20nm RMS,可以用於(yu) 平麵、球麵、非球麵、離軸拋物麵、自由曲麵等麵型的高精度檢測。具有測量角度大、非接觸、精度高、速度快等特點。


偏折測量係統構成:

相位偏折測量係統主要由ccd相機 、LCD顯示屏和待測件三個(ge) 部分組成,係統配置如下圖。LCD顯示屏投射提前生成好的結構光正弦條紋,正弦條紋被待測鏡表麵反射後發生畸變,CCD相機采集畸變後的條紋,再利用相位斜率映射 關(guan) 係從(cong) 畸變的條紋圖中計算出待測鏡梯度信息。zui後根據基梯度數據的麵形重構算法,重建出待測鏡的麵形。

 


偏折術基本原理:

首先,LCD顯示設備顯示預先編碼的結構光圖案(正弦光柵圖),被測物體(ti) 表麵按照光的反射定律反射這些結構光,並被放置於(yu) 另一角度的相機采集。

然後,通過上麵所提到的折疊相位、絕對相位計算方法解調變形條紋中的相位信息。

zui後,根據建立的相位—梯度—深度或相位—深度關(guan) 係,以及標定的係統結構參數得到被測物體(ti) 的三維形貌數據。



偏折測量技術優(you) 勢:

測量範圍寬:能夠測量平麵、球麵、非球麵、離軸拋物麵、自由曲麵等;

對環境噪聲不敏感:具有非常強的抗環境幹擾;

係統搭建簡單、性價(jia) 比高:使用商業(ye) 化的配件,對成像光路沒有特殊要求。

 

偏折測量技術現狀: 

在現實中,偏折測量技術的實現是複雜的,因為(wei) 一方麵單一的圖像是不夠的,而且還需要準確地表征圖像的尺寸以及物體(ti) 與(yu) 觀察者之間的距離。確實,定義(yi) 目標發出的圖像和相機捕捉到的反射之間關(guan) 係的數學公式是已知的,但它們(men) 包含太多的變量,使得方程在實踐中隻有一個(ge) 解。這就是我們(men) 的創新之所在。我們(men) 開發了一種校準方法,該方法實施簡單,效率很高,可以充分表征測量係統,從(cong) 而使被測物體(ti) 反射的圖像可用。



上海昊量光電設備有限国产黄色在线观看z新推出了一款具有特殊專(zhuan) li技術的偏折測量係統。該係統由一個(ge) 計算機屏幕(瞄準具)組成,參考圖像顯示在屏幕上。參考圖像的反射由照相機捕捉。顯示器和攝像頭連接到一台計算機,該計算機執行重建表麵所需的複雜計算。計算機、攝像機和攝像機的定位係統集成在一個(ge) 盒子裏,結果顯示在顯示用戶界麵的第二個(ge) 屏幕上。該係統對震動,環境光等環境要求非常低,係統操作簡便,用戶可以在收到貨物後30分鍾內(nei) 上手操作。

 

偏折測量係統檢測精度:

上海昊量光電設備有限国产黄色在线观看推出的偏折測量係統精度可達<15nm RMS或者優(you) 於(yu) λ/40 RMS。



結語:

隨著工業(ye) 製造業(ye) 發展,我國在航空航天、高端裝備製造、汽車工業(ye) 、生物醫學與(yu) 通信和微電子高科技等領域方麵對鏡麵和鏡麵類等零件需求越來越大,其已經成為(wei) 了我國在通信行業(ye) 的關(guan) 鍵零件之一。製造過程中有一道必要工序就是麵形檢測,目前的常用檢測方法存在檢測效率低,檢測精度不滿足要求等問題。隨著上海昊量光電設備有限国产黄色在线观看z新的相位偏折測量係統推出,可以有效助力科技項目。


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