在薄膜行業(ye) 和塗層行業(ye) 中,厚度是一個(ge) 非常重要的質量參數;厚度和均勻性嚴(yan) 重影響著薄膜的性能,所以必須非常精準的測量薄膜的厚
度。而高光譜相機則可以很好的適用於(yu) 該項国产成人在线观看免费网站。
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在薄膜行業(ye) 和塗層行業(ye) 中,厚度是一個(ge) 非常重要的質量參數;厚度和均勻性嚴(yan) 重影響著薄膜的性能,所以必須非常精準的測量薄膜的厚
度。目前,X射線技術和光譜學技術在薄膜厚度測量方麵得到了廣泛的国产成人在线观看免费网站,不管是在台式監測係統中還是在線監測係統中。
然而,目前使用的一般是單點狀的探測器,而在線監測係統一般都是把探測器安裝在一個(ge) 橫向掃描的平台上,得到的是一個(ge) 之字形的檢
測點圖形而不是整個(ge) 薄膜,因此隻能監測部分樣品的厚度。
那麽(me) ,一個(ge) 行掃描(推掃式)高光譜相機就可以克服這個(ge) 限製,它可以監測整個(ge) 的薄膜或者是塗層區域。在每條線掃描數據中,光譜數
據能覆蓋薄膜的整個(ge) 寬度,並且有很高的空間分辨率。
為(wei) 了驗證高光譜成像技術在這個(ge) 方麵的国产成人在线观看免费网站,Specim国产黄色在线观看使用高光譜相機檢測了4種高分子材料薄膜樣品的厚度,使用的是型號為(wei)
Specim FX17(波長935-1700nm)高光譜相機。薄膜樣品的標稱厚度為(wei) 17,20,20和23um. 使用鏡麵幾何的方法,並且仔細檢查幹
圖形。通過解析圖片上光譜位置及距離,就可以得到厚度值。
光譜幹涉圖,通過鏡麵反射的方式測量得到的,可以轉化為(wei) 厚度圖。
光譜幹涉圖通過matlab軟件轉化成厚度圖。使用SpecimFX17高光譜相機測得的平均厚度值為(wei) 18.4um,20.05um,21.7um,和
23.9um. 標準偏差分別為(wei) 0.12,0.076,0.34,和0.183um。當測試薄膜的時候,並沒有拉伸薄膜,這也剛好能解釋為(wei) 什麽(me) 測試值輕微
的超過標稱值了。另外,瑕疵點也被檢測到了。 在薄膜1中,我們(men) 檢測到了2個(ge) 比較薄的片區, 這也許是外部壓力造成的。
高光譜成像相較於(yu) 光譜學,能顯著提高薄膜效率和塗層質量控製係統。因為(wei) 高光譜相機(例如Specim FX17)每秒鍾能獲取上千條線
掃描數據。它可以提供100%在線薄膜監測,可以提高国产欧美在线質量一致性並減少浪費。
相較於(yu) 目前的基於(yu) 一個(ge) 光譜數據點的XY掃描解決(jue) 方案,它同樣可以顯著的提高台式監測係統的監測速度。同時高光譜相機也可以減少X
射線傳(chuan) 感器帶來的輻射危害,因為(wei) 它僅(jin) 僅(jin) 隻需要無害的光線。
理論上講並考慮到一個(ge) 安全限度,FX10能測量厚度梯度從(cong) 1.5um到30um,而FX17適用於(yu) 厚度從(cong) 4到90um。
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