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CCD的電荷存儲

發布時間:2022-02-15 13:49:05 瀏覽量:3715 作者:Leo

摘要

電荷耦合攝像器件(CCD)的突出特點是以電荷為(wei) 信號的載體(ti) ,不同於(yu) 大多數以電流或電壓為(wei) 信號載體(ti) 的器件。CCD的基本功能是電荷的存儲(chu) 和轉移,因此,CCD的基本工作過程主要是信號電荷的產(chan) 生、存儲(chu) 、轉移和檢測。 CCD有兩(liang) 種類型,一種是表麵溝道類型(SCCD),電荷包存儲(chu) 在半導體(ti) 與(yu) 絕緣體(ti) 之間的界麵,並沿界麵轉移;另一種是體(ti) 溝道或埋溝道類型(BCCD),電荷包存儲(chu) 在離半導體(ti) 表麵一定深度的體(ti) 內(nei) ,並在半導體(ti) 內(nei) 沿一定方向轉移。

正文


ccd的電荷存儲(chu)

構成CCD的基本單元是MOS(金屬-氧化物-半導體(ti) )結構。如下圖,在柵極不施壓的情況下,P型半導體(ti) 中多數載流子空穴的分布是均勻的。在柵極施加小於(yu) P型半導體(ti) 閾值電壓Uth時,在半導體(ti) 內(nei) 產(chan) 生耗盡區。當柵極電壓繼續增加,並大於(yu) 閾值電壓後,耗盡區的深度和柵極電壓成正比。


將半導體(ti) 與(yu) 絕緣界麵上的電勢記為(wei) 表麵電勢Φs,表麵電勢隨著柵極電壓Ug的增加而增加。下圖描述了二者在不存在反型層電荷時,不同氧化層厚度下表麵電勢和柵極電壓之間的關(guan) 係。從(cong) 曲線中看出,氧化層厚度越薄,曲線的直線性越好。


當柵極電壓Ug不變時,表麵電勢Φs和反型層電荷密度Qinv之間的關(guan) 係。下圖可以看出,Φs隨著Qinv的增加而線性減小。電子之所以被吸附到半導體(ti) 和氧化層的交界麵處,是因為(wei) 那裏的勢能最低。



在空勢阱情況下,不存在反型層電荷,如圖(a);當反型層電荷填充1/3勢阱時,表麵勢收縮,如圖(b);當反型層電荷足夠多時,表麵勢減少到最低,表麵勢不再束縛多餘(yu) 電子,產(chan) 生溢出,如圖(c)。



因此,表麵勢可以作為(wei) 電子深度的量度,而表麵勢又和電壓、氧化層厚度有關(guan) ,即和MOS電容的容量Cox和Ug的層級有關(guan) 。勢阱的橫截麵積取決(jue) 於(yu) 柵極電壓的麵積A有關(guan) 。MOS電容存儲(chu) 信號電荷的容量為(wei) :

Q=Cox*Ug


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