中文：可控微扫描；英文：controllable micro-scan_ ning

关键词

解释

微位移与微探测间隔的比例可控的一种微扫描。根据扫描的水平和垂直移动的顺序，分为1×1、2×2、3×3等扫描模式。典型的2×2 模式的微扫描所形成的微位移是微探测器间隔的一半。