中文：电子光学逆设计；英文：electron optical inverse design

关键词

解释

在给定系统的成像特性、像面位置与放大率的条件下，反求电子轨迹与电位分布，从而确定系统的结构参量和电参量的设计过程。包括通过寻求像差极小值，实现系统的优化设计等。