槽阵列随后被对准并连接到器件上,以实现光纤耦合器件结构。关于制造过程和器件结构的更多细节在参考文献10中进行了解释。图3所示。基于TFLN的Mach-Zehnder传感器芯片的制造工艺步骤。(a)离子注入和铌酸锂晶体与石英衬底的结合。虚线表示锂铌酸盐层的离子注入层。(b)晶体离子切片工艺及TFLN生产。(c)极化电极沉积。(d)高压极化过程。电子束光刻、蚀刻、波导形成和聚合物钝化层沉积。箭头表示TFLN层的自发极化方向。图4所示。通过器件的典型极化电流。4.器件特性A.环形谐振式电场传感器图5(a)显示了一个制造和封装的基于微环谐振器的电磁场传感器的图像。可以看出,封装的传感器非常紧凑。目前封 ...
、稳定的空间对准。由于光子集成电路取代了多个大块光学元件(以及它们的机械安装和支架),电光太赫兹传感器的尺寸和重量大大减少。未来,具有成本效益的薄膜LNOI探测器芯片的晶圆级制造设想将变成现实。使用铌酸锂和光子集成的电光太赫兹波探测器由器件概念表示,其中入射太赫兹波电场使用等离子体天线和等离子体器件局部增强。我们的研究目标是通过开发一种光子集成的全介电电磁传感器来推进技术。该设备对于射频/毫米/太赫兹频率电场和波的非侵入性测量非常重要,在这种环境中,沉积在铌酸锂上的金属结构可能会扭曲待检测的电场模式。结果光子集成电路薄膜LNOI电光太赫兹传感器设计如图1所示。它由一个Mach-Zehnder ...
以保持其干涉对准,以及专有的自锁机制,使不可逆组装。分光镜经过专门设计,使反射镜的运动能够调制2-14 um光谱区域的光(图2)。图2ChemPen™背后的MEMS引擎是在桑迪亚guo家实验室的SUMMiT-V制造工艺中制造的,Albuquerque, NM,由五层多晶硅组成,每个多晶硅层之间具有中间牺牲氧化物,并且具有小于0.25 um间隙的旋转部件的特定功能。后处理包括粘结垫和微量金属化,骰子,临界点干燥,镜面金属化后释放,以尽量减少固定和移动镜的曲率变化。ChemPen™目前是手工组装,但批量组装技术正在开发中。了解更多详情,请访问上海昊量光电的官方网页:https://www.auni ...
组件实现精确对准的批量金属化,该组件允许通过运动耦合在顶部阴影掩模和底板之间进行可重复的-ȝm级对齐。图1说明了装配前的金属化反射镜组件使用干涉轮廓显微镜(WYKO, NT 2000)测量金属化和组装镜面的表面形貌。与之前记录的数据相比,将释放后金属化与金属涂层结构的各种镜面强化技术相结合,可以显著改善RMS平面度和增加曲率半径。在整个透明孔径上测量到的RMS平坦度小于40 nm,对应于min工作光谱区域2 um的小于波长的1/50。峰谷差小于210 nm,使得整个透明孔径的曲率半径大于80 cm,曲率半径仅为2μm,远小于一条条纹。所开发的工艺具有鲁棒性和高度可重复性。图22. 镜像运动Ch ...
2.9µm,对准后在红外相机(Xenics-Gobi 640)上对波导输出进行成像,在TM偏振下的输出强度分布如图1b所示。模态强度分布(COMSOL)模拟显示,沿x轴和y轴的FWHM分别为10.1µm和2.3µm。采用热电冷却型碲化汞镉(MCT)探测器(VIGO系统)记录采集物镜的信号。来自MCT探测器的信号被记录在一台计算机上,该计算机也对QCL进行了调谐,并使用软件包(LaserTune)对光谱进行处理。作为一种简单的纸基流体结构,用一条滤纸将含水分析物引入波导表面,并确定倏逝吸收路径长度。在滤纸上盖上一层副膜以避免样品蒸发。已经证实,在波导表面存在滤纸本身不会显著改变光传输。图2在双蒸 ...
。当单模光纤对准太阳时,获得了太阳光谱。太阳光谱包括数千条吸收线,这些吸收线是由太阳大气中不同元素的存在引起的,可以用来研究太阳的成分和温度。上海昊量光电作为中阶梯光栅光谱仪的中国代理,为您提供专业的选型以及技术服务。对于中阶梯光栅光谱仪有兴趣或者任何问题,都欢迎通过电话、电子邮件或者微信与我们联系。如果您对中阶梯光栅光谱仪有兴趣,请访问上海昊量光电的官方网页:https://www.auniontech.com/details-2314.html欢迎继续关注上海昊量光电的各大媒体平台,我们将不定期推出各种国产欧美在线介绍与技术新闻。更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电关于昊量光电:上海昊量光 ...
为了方便光学对准,使用与低温兼容的环氧胶将光纤阵列(FA)粘附到PIC上。等离子体马赫-曾德尔调制器具有两臂之间的不平衡,引入了一个固定的相移。这允许在不需要电学调节的情况下调整调制器的工作点,例如通过热光相移器,避免了给低温恒温器增加额外的热负载。相位调制是利用有机电光(OEO)材料的线性电光效应实现的。OEO材料已被证明在4.2 K下表现出高非线性,该装置的特点是在室温和4k环境下的频率响应。图1(a)描述了等离子体马赫-曾德尔调制器的实验装置图。图1(b)显示了在4 K温度下从5 GHz到108 GHz的近乎平坦的频率响应。更准确地说,样品被放置在一个4 k闭环液氦低温恒温器中。一个安装 ...
仪进行高精度对准。由于光频梳偏频测量模块(COSMO)使用了纳米光子波导,它可以使用比传统方法低得多的脉冲能量来检测载波包络偏移频率,它允许以小于200 pJ (即frep频率=1 GHz时,平均功率< 200 mW,其中frep是指重复频率)的脉冲能量精确检测fceo,这使得光频梳偏频测量模块(COSMO)可以与各种频率的光梳一起使用,包括那些功率很低的光频梳或重复频率很高的光频梳。图2如图2所示的简单配置中,将锁模光纤激光器与光频梳偏频测量模块(COSMO)连接,再将该模块连接到示波器上,我们就可以在示波器上看到三个峰,分别是fceo、fceo-frep、frep.下面介绍一下利用光 ...
复杂光学系统对准/计量参考球体或显微镜物镜可以很容易地放置或拧到R-Cube模块的出口处。在此配置中,点源创建一个发散光束,该发散光束注入被测系统中。实时波前显示允许监控和优化光学对准。1.3面型检测当集成到反射装置中时,Phasics SID4波前传感器可以执行面型检测。Kaleo 软件输出3D 曲面图和凸面或凹面(如透镜、镜子或模具)的曲率半径。ISO 10110 标准定义的所有表面质量参数,如表面不规则度、粗糙度和波纹度,都是从该测量中计算得出的。也可以在任何方向上提取表面轮廓,并且可以将结果与理论表面进行比较。二、激光测试和自适应光学控制Phasics的波前传感器以其无与伦比的高分辨率 ...
如光学测试和对准(表面测量)、传输波前误差测量、调制。★QWLSI四波横向剪切干涉测量原理四波横向剪切干涉测量(QWLSI原理) 具有纳米级灵敏度和高分辨率的相位和强度。这项创新技术依靠衍射光栅将入射光束复制成4个相同的波。经过几毫米的传播,4个波纹重叠并干涉,在检测器上产生干涉图。★QWLSI四波横向剪切干涉技术优势四波横向剪切干涉测量技术(QWLSI),也被称为改进哈特曼掩模技术。它以其高空间分辨率,无需中继透镜即可测量发散光束的能力和消色差而脱颖而出。该技术于2004年由Phasics在市场上推出,现在因其性能和易于集成而获得国际认可。图2SID4波前传感器图3 棋盘格网栅三、190-4 ...
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