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中文：逆向光刻；英文：inverse lithography

关键词
解释
中文：逆向光刻；英文：inverse lithography的原理；中文：逆向光刻；英文：inverse lithography的定义；中文：逆向光刻；英文：inverse lithography是什么。
 依据光刻成像理论，利用目标光刻成像性能作为评价函数，逆向优化光刻设备（照明和物镜系统）、掩模和工艺参数的光刻工艺。
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