隔振可分為(wei) 兩(liang) 類:主動隔振和被動隔振。其中主動隔振是通過傳(chuan) 感器和執行器，提供大小相等，方向相反的力，抵消振動對目標的影響。主動隔振克服了被動各種平台的共振頻率附近頻率無法消除的問題，拓展了隔振的頻率範圍（尤其是低頻範圍），極大降低了振動傳(chuan) 遞率。
主動隔振使国产欧美在线具有更低的共振頻率国产成人在线观看免费网站於(yu) 掃描探針顯微鏡（SPM），共聚焦激光顯微鏡，幹涉儀(yi) 係統，三維形狀測量機，激光位移測量係統，其他精密測量和精密加工機。明立精機推出的MAPS 主動隔振係列国产欧美在线的除振係統是在精巧的形狀中加入垂直與(yu) 水平用的氣壓驅動器而構成的組裝型除振裝置。使用1 組4 個(ge) 的話，對應全自由度的振動，能發揮出優(you) 秀的除振性能、製振性能、定位性能等。ME40係列緊湊的機身集成了6 自由度的主動除振機構，可提供以往的被動型無法實現的振動環境。這款機器可以很大限度的發揮近年來發展神速的納米技術領域所要求的高精度及高分解能。
