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校準片與分辨率靶

高分辨率測試靶(分辨率靶)

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精度達到3300lp/mm的高分辨率測試靶,負片圖案結構,設計緊湊,優異的尺寸穩定性

所屬類別:顯微成像係統及組件 » 校準片與(yu) 分辨率靶

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姓名:陳工(Bean)

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高分辨率測試靶  Test Chart



◆  負片圖案設計


◆  基底為(wei) 10x10mm²,設計緊湊,尺寸穩定性良好


◆  采用高精度電子束光刻技術製作


◆  結構尺寸低至100nm 


◆  分辨率可達到3300 lp/mm



       昊量光電推出的 Test chart 標準尺係列是由高精度的電子束光刻製作而成,這些圖案蝕刻在具有廣譜透射(DUV-VIS-NIR)的,基底為一個10×10 mm²石英襯底上。在襯底上施加了高光密度的鉻層,之後通過燒蝕鉻層,使得結構尺寸可以降低到100納米的同時保證了設計的精度,這種方式也保證了結構邊緣的良好尺寸公差和直線度。其結構為負片圖案,且每個靶上的負片圖案允許結構透明,而背被鉻層阻擋。同時為配各類顯微鏡物鏡使用,有多種圖案可以選擇,且所有圖案都可以有一個厚度0.17毫米的覆蓋玻璃的版本可用。




                       標準載玻片靶 TC-RT01   ——   7.5-3300 lp/mm+4.0-0.25um pinholes




通過高分辨率的RT01,可以非常輕鬆、快速地在傳(chuan) 輸光下確定目標的分辨率限製。水平和垂直對齊共有 59 條線型,涵蓋了精度從(cong) 每毫米 7.5條線對 到 3300 條線對。

       同時結構的簡單排列和測試結構尺寸的直接讀取確保了直觀的處理。此外,還有5個(ge) 直徑在4.0-0.25 um之間的針孔,可以實現微成像光學元件的詳細表征




             西門子星狀靶 TC-RT02   ——    Resolution testchart with very high precision





       該標準尺由 5 顆西門子星組成, 其特點是星中心的錐形部分製造的寬度低至為(wei) 150nm。該測試目標板非常適合於(yu) 確定具有非常高數值光圈的顯微鏡物鏡的分辨率




                   載玻片檢查板TC-CB50   ——    CheckBoard of 50 x 50 um² squares


   


        高分辨率顯微鏡檢查板的特點內(nei) 部每個(ge) 正方形均為(wei) 50 x 50 平方微米,整體(ti) 尺寸為(wei) 9.0 x 9.0 平方毫米。該靶片非常適合於(yu) 測試圖像偏斜和曲率,以及確定由於(yu) 直線和銳邊導致的圖像質量。



                 熒光載玻片線對靶TC-RT03   ——fluorescent resolution test target up to 5000 lp/mm



       利用這張熒光超高分辨率測試靶,可以確定全視野內(nei) 高端顯微鏡物鏡的分辨率和MTF。在水平和垂直排列中,間距降至200nm(每毫米5000對線對)的線圖案,可以獲得可用的油浸目標的分辨率限製。針孔排列在覆蓋10x、20x、40x、63x和100x物鏡視野的網格上。測試圖的結構是在厚度為(wei) 0.17mm+/-5µm的高精度覆蓋玻璃上製作的,粘在透明熒光底板上。因此,測試載玻片可以用於(yu) 熒光和亮場模式或激光掃描顯微鏡。這些結構被實現為(wei) 負的,即隻有這些結構是透明的,而背景被一個(ge) 鉻層所阻擋。還有一個(ge) 版本可用於(yu) 不需要蓋波片的物鏡。




高分辨率顯微鏡靶通用規格


Pattern Tolerance:

100nm/cm

光密度 OD:

OD>8 @ 400nm, 6   @ 550nm, 4.5 @ 750nm, 3.6 @ 1000nm

光譜範圍:

200 - 2000nm

基底:

Fused Silica   w/Chrome deposit

尺寸 (mm):

10 x 10 x 1

構造 :

Stainless Steel, 75   x 25 x 1.5mm, microscope slide format

 



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