在線方塊電阻測試儀

在線方塊電阻測試儀(yi)

EddyCus TF inline在線方塊電阻測試儀(yi) 可以測量薄層的性能，如金屬層厚度，薄層電阻，輻射係數，殘餘(yu) 水分或在各種基材上的非接觸克重。相關(guan) 基材有玻璃、箔、紙、晶圓片、塑料或陶瓷。通過常駐測量或觸發事件進行監測，以在快速移動的塗層過程中獲得等距離的結果。檢測解決(jue) 方案可以在大氣或真空條件下實施。基於(yu) 電渦流技術的檢測過程高采樣率更高。可以使用客戶的軟件為(wei) 過程控製係統提供測量結果。此外，SURAGUS還提供監控軟件EddyCus EC Control，可視化、存儲(chu) 和分析計量數據。

在線方塊電阻測試儀(yi) 国产欧美在线優(you) 勢：

• 非接觸式實時測量

• 高測量速度高達1000次/秒。

• 傳(chuan) 感器固定安裝或傳(chuan) 感器橫貫安裝

• 每個(ge) 係統集成1 - 99個(ge) 監控通道

• 在大氣或真空的過程控製

• 在許多国产成人在线观看免费网站中，非常接近襯底邊緣的測量是可能的

• 在變化的環境中通過溫度補償(chang) 測量的長期穩定性

• 與(yu) 測試材料之間的距離較大(例如60毫米/ 2.4英寸的間隙)

• 覆蓋導電層或封裝襯底的表征

• 眾(zhong) 多軟件集成分析

在線方塊電阻測試儀(yi) 測量內(nei) 容及範圍：

薄層電阻: 0.1 mOhm/sq up to 1 kOhm/sq

金屬厚度: 2 nm – 2 mm (根據材料電導率)

電阻率: 0.1 mOhm cm – 1 ohm cm

殘餘(yu) 水分(用非接觸式介電常數測量濕層)

電各異性: 0.33 to 3 (higher on request)

關(guan) 聯屬性

克重: 0.1 to 1,000 g/sqm

輻射係數: 0.005 to 0.2

EddyCus TF非接觸式方塊電阻在線監測係統可在生產(chan) 過程中直接對方塊電阻進行高速、非接觸式測量。典型的工藝包括PVD, CVD，在晶圓，箔，紙，聚合物或其他基板上的電沉積或常規沉積工藝。特別是這些工藝包括濺射、蒸發、外延或電鍍工藝。此外，這也涉及噴塗，槽模塗層或電子印刷過程。此外，片狀電阻增強過程，如薄膜的退火和摻雜或印刷電子国产欧美在线的燒結，受益於(yu) 電氣完整性的在線監測。氧化、蝕刻、拋光以及清洗和幹燥過程的影響也是這種測試技術廣泛国产成人在线观看免费网站範圍的一部分。薄片電阻值通常轉移到MES係統，以保證質量，特別是過程控製。

在線方塊電阻測試儀(yi) 規格指標：

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