M-cat磁場均勻性檢測係統/磁控濺射磁棒/旋轉陰極磁棒測量係統

M-cat磁場均勻性檢測係統/磁控濺射磁棒/旋轉陰極磁棒測量係統

昊量光電蕞新推出M-cat磁場均勻性檢測係統/磁控濺射磁棒，可以快速精準的對濺射係統磁控管和磁棒的測量質量精準控製。旋轉磁控管和可調磁棒可以在浮法玻璃鍍膜的濺射過程中進行精確測量和分析及可靠地識別有缺陷的磁控管和磁棒。可以提高層厚的均勻性並且可以避免濺射。

M-cat磁場均勻性檢測係統/磁控濺射磁棒主要介紹：

在玻璃或矽上濺射需要高質量標準。即使沉積層厚度的微小波動也會(hui) 顯著影響層的特性。用於(yu) 窗戶和立麵結構的浮法玻璃在顏色和透射特性方麵可能會(hui) 發生某些變化。作為(wei) 太陽能電池生產(chan) 基礎的玻璃塗層厚度的變化會(hui) 導致電性能的不對稱。

濺射氣體(ti) 的分壓或磁場可以改變層的特性。由於(yu) 氣體(ti) 成分的變化同樣會(hui) 影響層的成分，因此對於(yu) 層厚度的調整，僅(jin) 可以国产成人在线观看免费网站磁場的控製和修改。

M-cat磁場均勻性檢測係統以高精度表征管狀磁控管，使操作員能夠控製濺射裝置中的磁性元件。除了對磁體(ti) 配置進行精確測量和分析外，M-cat磁場均勻性檢測係統還為(wei) 可調節磁控管提供幫助，為(wei) 確保高可靠性，確定了磁控管的幾何形狀（偏轉)。

使用M-cat磁場均勻性檢測係統/磁控濺射磁棒可以增加：

• 過程可靠性，因為(wei) 可以對新磁控管進行進貨檢驗，並且可以更早、更可靠地檢測到有缺陷的磁控管。

• 層厚度的均勻性，因為(wei) 可以以可控方式設置可調磁控管，或者可以更容易地組合合適的磁控管。

• 靶材的使用壽命，因為(wei) 可以避免成本密集型靶材的濺射。

M-cat磁場均勻性檢測係統/磁控濺射磁棒突出亮點：

• 獲取完整的磁場輪廓

• 可提供用於(yu) 圓形陰極和扁平陰極磁控管的係統

• 可以在現有的製造過程中實施該係統

• 可微調磁控管微調輔助功能

• 高可用性

  
  

M-cat磁場均勻性檢測係統/磁控濺射磁棒主要技術指標：

• 在 1 分鍾內(nei) 完成測量

• 場過程的圖形表示

• 檢測蕞小和蕞大磁場強度

• 以 CSV 格式存儲(chu) 和導出單個(ge) 測量係列的功能

• 可以記錄目標參數（直徑、偏轉）

• 微調可微調磁控管的輔助功能

•  長度為(wei) 0.4 - 4.0m

•  磁場配置：33 個(ge) 通道（X、Y、Z）+/- 1%

• 磁控管的幾何形狀（磁性功能部件的位置）：+/- 0.1mm

• 目標的幾何形狀（直徑、偏轉）：+/- 0.1mm

•  具有生命周期管理、各種視圖和設置選項的軟件

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