長度與尺寸測量

正文

長度與(yu) 尺寸測量

1.幹涉法長度測量的基本定律

幹涉法長度測量的基本規律是用一個(ge) 機械長度與(yu) 一個(ge) 已知的光的波長對比。一般來說，這種光學方法設計光束兩(liang) 次通過所需的長度。因此，測量單位是半波長，被測長度表示為(wei) ：

式中，λ為(wei) 波長；i為(wei) 幹涉整數級；f是幹涉分數級。

利用半波長的倍數表示長度的方法取決(jue) 於(yu) 兩(liang) 種或者多種光波的幹涉強度，在雙光束幹涉時表示為(wei) ：

此時，γ為(wei) 幹涉率，z1-z2為(wei) 兩(liang) 個(ge) 光束通路之間的幾何距離差。因此，一個(ge) 通路長度的改變會(hui) 以單位λ/2來改變周期性幹涉強度。在上式中位相的不同 2Π/λ/2(z1-z2)可以用真空波長表示為(wei) 2Π/λ0/2(z1-z2)。此時的n是通路中空氣的折射率，n(z1-z2)表示兩(liang) 個(ge) 光路之間的差異而不是幾何距離差。

可見光的波長一般為(wei) 400～700nm,因此測量的基本單位是200～350mm。（因為(wei) 半波長）

2.測長幹涉儀(yi) 的基本類型

（1）泰曼一格林幹涉儀(yi)

泰曼一格林幹涉儀(yi) 是一種使用準直光束的邁克爾遜幹涉儀(yi) 。其光路本質和邁克爾遜幹涉儀(yi) 相同，都是采用分束器分光，兩(liang) 束光再次重合進行幹涉的方法。光路圖如下：

當測試對象通過一個(ge) 平麵鏡時，每條入射光線的的傾(qing) 斜角都是相等的，可看到的整個(ge) 區域呈現相同的照明度，光程差為(wei) mλ/2時是亮條紋，光程差是(m+1/2)λ時為(wei) 暗條紋，此時m是一個(ge) 整數。當一個(ge) 平麵鏡傾(qing) 斜時這種情況也將改變。此時，直條紋出現在觀察區域，條紋的數目和方向嚴(yan) 格依賴於(yu) 傾(qing) 斜度。當被測對象不是完全平麵時，條紋彎曲而且不在空間均勻分布。這樣的條紋圖像可以用於(yu) 表麵品質的測試，也可以用於(yu) 地形表麵的分析.

分束鏡的二次反射可采用鍍製減反射膜來抑製，很小的雜散反射也可導致不利的幹擾，對zui終幹涉造成影響。另一種消除二次反射的有效方法是利用楔形分束鏡。這樣使得二次反射的方向與(yu) 主射方向不同，導致聚焦透鏡的焦平麵上的二次反射點能被一個(ge) 合適的孔擋住，這樣就避免了反射光對zui終的幹涉光束的影響。分束鏡的楔形角ε造成幹涉光束一個(ge) 很小的偏移，為(wei) ε(n-1)。此處n是分束鏡的折射率。當使用一個(ge) 單波長時，這個(ge) 偏移可通過適當的調整反射麵進行補償(chang) ，當使用不同波長時，分光儀(yi) 的散射造成觀察條紋數目的很大改變。這種散射影響可以在反射光路中放置一個(ge) 楔形補償(chang) 平板來進行補償(chang) 。補償(chang) 板的楔形角、方向和基體(ti) 材料都要和分束鏡一樣。

（2）斐索幹涉儀(yi)

一束光進入幹涉儀(yi) 後在第1個(ge) 表麵半反射，在其他表麵都幾乎全部反射。多次反射產(chan) 生多束光，分光儀(yi) 分開入射光，得到多束光用於(yu) 多光束幹涉的分析。不必要的反射導致的有害幹擾可以用楔形平板，如在光組中的一個(ge) 小孔光學元件來消除。

  

用斐索幹涉儀(yi) 進行長度測量時與(yu) 泰曼一格林方法類似，通過加入一個(ge) 粘接在圓筒上的棱鏡進行，可以確定條紋位移的幹涉分數級。

了解更多詳情，請訪問上海昊量光電的官方網頁：

https://www.weilancj.com/three-level-55.html

更多詳情請聯係昊量光電/歡迎直接聯係昊量光電

關(guan) 於(yu) 昊量光電：

上海昊量光電設備有限国产黄色在线观看是光電国产欧美在线專(zhuan) 業(ye) 代理商，国产欧美在线包括各類激光器、光電調製器、光學測量設備、光學元件等，涉及国产成人在线观看免费网站涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫療、科學研究、國防、量子光學、生物顯微、物聯傳(chuan) 感、激光製造等；可為(wei) 客戶提供完整的設備安裝，培訓，硬件開發，軟件開發，係統集成等服務。

您可以通過我們(men) 昊量光電的官方網站www.weilancj.com了解更多的国产欧美在线信息，或直接來電谘詢4006-888-532。