皮米級絕對距離測量幹涉儀

皮米級絕對距離測量幹涉儀(yi) （可試用）

        昊量光電推出的皮米級絕對距離幹涉測量儀(yi) quDIS是目前市麵上同類別獨特可以測量皮米級絕對距離的幹涉儀(yi) 。基於(yu) 其獨特的測量原理，相對距離的重複精度達到了前所未有的50皮米。絕對距離也可以達到20m。下麵我來詳細介紹一下quDIS絕對距離測量的基本原理：

一.“幹涉光譜學”-頻率分析和相對距離

        傳(chuan) 統的幹涉測距法都是待測目標移動產(chan) 生的和參考光路不同的光程差，產(chan) 生幹涉現象。而除了光路長度的改變，在恒定路徑下激光波長的改變也會(hui) 導致信號的幹涉調製。通過激光器控製掃描波長，控製引入多個(ge) 波長變化，這樣避免了靜態狀態下的相對誤差。這種方法稱為(wei) “幹涉光譜學”。

       德國qutools国产黄色在线观看生產(chan) 的皮米級位移幹涉測量儀(yi) quDIS是基於(yu) 法-珀幹涉而設計的。較之傳(chuan) 統的設計，創新性的增加了飽和吸收氣室（GC）單元，根據其氣體(ti) 的吸收光譜可以用來進行精確的波長控製。通過快速的上下掃描改變激光波長使波長變化滿足 Δλ/Δt >>Δx/Δt 。內(nei) 部光學參考腔將波長變化穩定為(wei) 線性波長掃描。這種測量方法不受對比度和檢測信號強度的影響。其他方法僅(jin) 在恒定波長下監測強度（arcsin）或偏差（arctan），從(cong) 而導致典型的周期性誤差存在。

                        獨特的法珀腔+飽和吸收氣室構造                               波長的線性變化的引入在此構造下使得絕對距離的測量成為(wei) 可能！

二.法珀參考腔-激光穩頻和絕對距離測量

      “幹涉光譜法”與(yu) 飽和吸收室(GC)結合使用也是可以實現絕對距離的測量。

        通過將可調激光器的頻率鎖定到F-P幹涉儀(yi) 的的諧振頻率上，將幹涉儀(yi) 的位移測量轉換為(wei) 頻率變化的測量。當F-P腔長在變化時，其諧振峰的頻率也在發生變化，通過測量初始腔長，初始頻率和頻率變化，就可實現測量腔長。可調激光器的頻率變化可通過與(yu) 一個(ge) 穩頻激光器進行拍頻來測量。因這種方式將位移變化轉換為(wei) 了頻率變化，隻要保證頻率變化為(wei) 線性變化，就可以避免幹涉儀(yi) 的非線性誤差對測量結果的影響。同時其理論分辨率低可達到1pm。

        絕對距離測量方式就是基於(yu) 上文中提到的“拍頻”的方式，通過將內(nei) 部參考腔鎖頻，使其頻率和腔長保持恒定，這樣，通過測量頻率變化，就可以知道實時的腔長，也就是絕對距離。

幹涉傳(chuan) 感頭

        激光束的成型是通過不同的傳(chuan) 感器頭來實現的，根據反射目標的不同，不同的国产成人在线观看免费网站都需要不同的準直、聚焦和光束剖麵約束。quDIS的傳(chuan) 感器頭均基於(yu) 光纖設計。quDIS為(wei) 常規情況下的使用提供標準準直儀(yi) 和定焦傳(chuan) 感頭，同時根據具體(ti) 的需要以及惡劣環境下的国产成人在线观看免费网站，也設計了響應的特殊傳(chuan) 感頭。

                       用於(yu) 測量高溫漂移物體(ti) 的傳(chuan) 感器頭的設計                                         鎳鐵合金製造的低熱膨脹係數準直頭

環境測試模塊（AMU）

      環境測試模塊（AMU）設計用於(yu) 補償(chang) 由溫度T、壓力p和相對濕度rH波動引起的折射率變化，總體(ti) 精度為(wei) 1ppm。

皮米級絕對距離測量幹涉儀(yi) 国产欧美在线特點：

•  多維度多通道位移幹涉器，操作簡單，即插即用

•  相對距離和絕對距離測量

•  完善的全套係統配置

•  實時輸出數字化圖像

•  針對不同国产成人在线观看免费网站提供各種傳(chuan) 感接頭及反射模塊組合解決(jue) 方案

•  長期使用保證穩定性

•  兼容真空與(yu) 各種惡劣環境

皮米級絕對距離測量幹涉儀(yi) 獨特優(you) 勢：

•  絕對距離高精度測量！

•  不存在非線性及周期性誤差！

•  相對距離信號穩定性<0.05nm！

•  工作距離zui大20m（與(yu) 傳(chuan) 感頭相關(guan) ）

•  目標zui大速度3m/s

•  三個(ge) 傳(chuan) 感接口，可實現多設備同步

•  探測器分辨率達到1pm

皮米級絕對距離測量幹涉儀(yi) 国产成人在线观看免费网站領域：

•   極限環境下振動分析

•   緩慢漂移及熱膨脹檢測

•   精密設備位置控製

•   納米級位移測量

•   層狀結構中間隙和邊緣的測量

•   位移和振動精度評估

  
  

皮米精度位置測量儀(yi) 參數列表：