點衍射幹涉儀(yi) 是一種利用小孔衍射產(chan) 生理想球麵波的幹涉儀(yi) ，它可以用於(yu) 高精度的光學檢測。這種幹涉儀(yi) 通過會(hui) 聚光束照明小孔產(chan) 生理想的球麵波，作為(wei) 測量基準波麵。一部分光束作為(wei) 測試光照射到被測元件的表麵後，經小孔板反射回來；另一部分光束作為(wei) 參考光束與(yu) 反射回來的測試光束幹涉生成幹涉圖樣，由CCD探測器接收，從(cong) 而完成幹涉測量。
點衍射幹涉儀(yi)
基本介紹：
點衍射幹涉儀(yi) 是一種利用小孔衍射產(chan) 生理想球麵波的幹涉儀(yi) ，它可以用於(yu) 高精度的光學檢測。這種幹涉儀(yi) 通過會(hui) 聚光束照明小孔產(chan) 生理想的球麵波，作為(wei) 測量基準波麵。一部分光束作為(wei) 測試光照射到被測元件的表麵後，經小孔板反射回來；另一部分光束作為(wei) 參考光束與(yu) 反射回來的測試光束幹涉生成幹涉圖樣，由ccd探測器接收，從(cong) 而完成幹涉測量。
工作原理：
通過照明小孔產(chan) 生衍射波，衍射波作為(wei) 參考波麵，與(yu) 被測光學係統產(chan) 生的波麵進行幹涉，通過分析幹涉圖樣來得到被測光學係統的波前誤差。
關(guan) 鍵技術：
關(guan) 鍵技術之一是小孔掩模技術。小孔掩模的主要作用是通過衍射產(chan) 生接近理想的球麵波用於(yu) 幹涉測量，其直徑、圓度及三維形貌對測量精度有決(jue) 定性影響3。
在點衍射幹涉儀(yi) 中，小孔的直徑、圓度以及三維形貌對測量精度有重要影響。為(wei) 了製造出滿足測量要求的高質量小孔，需要對影響參考球麵波質量的因素進行嚴(yan) 格的仿真計算和分析。
點衍射幹涉儀(yi) 的檢測精度取決(jue) 於(yu) 衍射板中針孔衍射產(chan) 生的參考球麵波質量，而針孔的直徑是影響參考球麵波質量的一個(ge) 重要因素。
點衍射幹涉儀(yi) 可用於(yu) 波前測量，無需參考鏡、共光路結構等優(you) 點可以滿足高精度的測量要求。研究了點衍射幹涉儀(yi) ，可以用一幅圓載頻幹涉圖來恢複原始相位。
點衍射幹涉儀(yi) 在光學檢測領域有著重要国产成人在线观看免费网站，特別是在高精度光學係統的檢測中發揮著關(guan) 鍵作用。通過不斷優(you) 化其設計和製造工藝，點衍射幹涉儀(yi) 的測量精度和国产成人在线观看免费网站範圍將得到進一步的提升。
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