點衍射激光幹涉儀(yi) -大口徑（≥700mm）高精度（≤0.6nm RMS）無出口限製皮米級精度激光幹涉儀(yi) 相位偏折術/相位偏折測量係統λ/1000超高精度激光幹涉儀(yi) !納米表麵輪廓儀(yi) 高分辨率激光幹涉儀(yi) 馬赫增德爾/邁克爾遜光纖幹涉儀(yi) 白光幹涉顯微鏡及物鏡——三豐(feng) MitutoyoKaleo MultiWAVE多波長動態幹涉儀(yi) 皮米級絕對距離測量幹涉儀(yi) 通用光學測量儀(yi) ——波前/傾(qing) 角/輪廓測量三合一
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