構成OLED結構的薄膜的計量是至關(guan) 重要的。MProbe UVVis和MProbe UVVis- msp提供了一種廉價(jia) 、可靠、非接觸的計量方法。可以測量材料的厚度和光學常數。本文主要介紹了OLED的厚度測量方法。
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OLED厚度測量
OLED結構用於(yu) 從(cong) 電視屏幕到手機的許多国产成人在线观看免费网站中。典型的OLED結構包括夾在電極之間的三個(ge) 薄有機層:HTL(空穴傳(chuan) 輸層)、EML(電子遷移率)或空穴阻塞層和ETL(電子傳(chuan) 輸層)。
圖1 OLED的結構示意圖
構成OLED結構的薄膜的計量是至關(guan) 重要的。MProbe UVVis和MProbe UVVis- msp提供了一種廉價(jia) 、可靠、非接觸的計量方法。可以測量材料的厚度和光學常數。
MProbe UVVis可以測量毯狀(無圖案)樣品,MProbe UVVis-msp可以使用非常小的光斑尺寸在像素級進行測量。
一、測量實例
圖2玻璃上ITO(透明導電氧化物)的測量-使用參數化ITO模型確定厚度和光學常數
圖3 ITO上html層的測量-測量了ITO和html的厚度
圖4 測量ITO上的EML層-測量ITO和EML厚度
圖5 測量ITO上的ETL層-測量ITO和ETL的厚度
圖6 測量ITO上的LiF層-測量ITO和LiF的厚度
二、Alq3和NPD測量實例
OLED的一種很有前途的實現是使用NPD和Alq3聚合物材料。這兩(liang) 種材料都具有有趣的電子結構和光學性質,這取決(jue) 於(yu) 製備條件。因此,測量光學常數色散隨厚度的變化就顯得尤為(wei) 重要。
圖7 采用Alq3和NPD的OLED結構
圖8 玻璃上Alq3層(17nm)的測量。厚度和光常數都是確定的
圖9 Alq3的光學常數(n&k)由測量得到
圖10 玻璃上NPD材料的測量:厚度和光學常數的測定
圖11 NPD材料的光學常數由測量確定
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