納米材料和超分子結構的環境無損形貌和化學測量在各種領域的研究、開發和製造中是必不可少的,包括微電子、複合材料、納米技術和生命科學。自組裝BCP圖案中特定區域和缺陷結構的直接空間化學成像將提供有關(guan) 材料、工藝和圖案質量的寶貴信息。目前在真實空間中的研究是基於(yu) 電子顯微鏡(EM)技術、原子力顯微鏡(AFM)和近場光學,所有這些技術都有局限性。
探測bcp化學結構的方法概述
zui近基於(yu) 能量濾波傳(chuan) 輸EM的EM光譜技術的進展可以通過原子Z對比推斷來提供有限的bcp識別信息。對於(yu) 典型的EM研究,選擇性染色,蝕刻,或滲透的另一種化合物在一個(ge) 聚合物成分被用來進一步增強成像對比度。然而,這種浸潤、染色技術或部分蝕刻可能會(hui) 改變或扭曲疇形狀和/或邊界輪廓。即使在具有足夠成像對比度的係統中,成像過程中造成的電子束損傷(shang) 也可能對樣品的表征產(chan) 生不利影響。
光譜學提供了有前途的非侵入性方法來探測bcp的化學結構。特別是,傅裏葉變換紅外(FTIR)光譜為(wei) 有機材料(如bcp)提供了非侵入性的化學特異性光譜。傳(chuan) 統FTIR技術的空間分辨率受衍射的限製,無法分辨精細的BCP圖像。增強掃描近場光學成像的新進展表明,通過將光譜學與(yu) AFM相結合,可以將光譜成像分辨率擴展到亞(ya) 10納米範圍。尖端增強近場振動光譜的例子包括尖端增強拉曼散射(TERS)和紅外散射掃描近場光學顯微鏡(IR s-SNOM)技術。尖端增強測量的一個(ge) 普遍挑戰是由遠場散射光子從(cong) 尖端周圍區域產(chan) 生的壓倒性背景信號。與(yu) 遠場散射相比,缺乏能夠可靠地增強近場拉曼散射的成像探針,這阻礙了TERS的廣泛采用,盡管它很有希望。此外,聚合物共混物和BCP係統不適合共振拉曼增強,需要很長的信號集成時間。對於(yu) 紅外sSNOM,基於(yu) 幹涉測量的檢測方法可以提供有效的背景抑。利用聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)在1733 cm−1的吸收波段,對PS-b-PMMA(苯乙烯-b-甲基丙烯酸甲酯)BCP (PS-b-PMMA)相對較大的自組裝圖案(~80 nm間距)的IR - s-SNOM圖像進行了對比。
由遠場散射光子從(cong) 尖端周圍區域產(chan) 生的壓倒性背景信號。與(yu) 遠場散射相比,缺乏能夠可靠地增強近場拉曼散射的成像探針,這阻礙了TERS的廣泛采用,盡管它很有希望。此外,聚合物共混物和BCP係統不適合共振拉曼增強,需要很長的信號集成時間。對於(yu) 紅外sSNOM,基於(yu) 幹涉測量的檢測方法可以提供有效的背景抑。利用聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)在1733 cm−1吸收波段,對PS-b-PMMA(苯乙烯-b-甲基丙烯酸甲酯)BCP (PS-b-PMMA)相對較大的自組裝圖案(~80 nm間距)的IR - s-SNOM圖像進行了對比。
認識到在s-SNOM中產(chan) 生近場散射光子的偶極子-偶極子相互作用應該產(chan) 生可測量的吸引力,Rajapaksa等人演示了分子共振的機械檢測。這項技術現在被稱為(wei) 光致力顯微鏡(PiFM),通過檢測金屬塗層AFM尖端中光學驅動分子偶極子與(yu) 其鏡像偶極子相互作用之間的力梯度,可以測量線性和非線性樣品的極化率。這種近場激發和近場檢測(相對於(yu) 前麵描述的其他尖端增強近場光學顯微鏡技術中的近場激發和遠場檢測)允許檢測近場背景貢獻的場光學響應。動態AFM(也稱為(wei) 攻絲(si) 模式或非接觸AFM)的使用由於(yu) 懸臂的高質量因子(Q ~ 600)和min的尖端-樣品相互作用而提供了良好的靈敏度,使其成為(wei) 軟物質(如bcp)的理想選擇。
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