光刻膠測量概述

正文

光刻膠測量概述

MProbe™ Vis MSP用於(yu) 小點測量。

在本文中，我們(men) 將討論PR的幾種不同国产成人在线观看免费网站:

1.玻璃基板上的薄PR(主CD/DVD国产成人在线观看免费网站)

2.藍寶石晶圓上薄PMMA

3.矽上PR(微斑)

4.矽片上PR(毯式矽片)

5.銅板PR(印製板)

一、玻璃基板上的薄PR

此国产成人在线观看免费网站程序用於(yu) 主CD/DVD和其他重新編碼国产成人在线观看免费网站程序。用MicropositS1800係列(Shipley)自旋塗覆玻璃盤。PR的柯西係數由廠家提供。而PR在隨厚度直接測量的500nm~600nm範圍內(nei) 吸收較小。PR的光學常數采用CauchyK模型表示，其中僅(jin) 測量吸收(k)部分，而n係數是固定的。

圖1 PR的光學常數，k為(wei) 實測，n由廠家提供。

圖2 PR測量結果。測量參數為(wei) 厚度(118nm)和吸收(見圖1)。

二、矽晶上的PMMA

將PMMA950(MicroChem)自旋塗覆在矽片上。PMMA材料的光學色散(柯西係數)由製造商提供。用MProbeVis測量塗層的厚度。

圖3 PMMA的測量:測量數據與(yu) 模型。厚度:143.2nm

三、矽上光刻膠

利用MProbeMSPVis係統(使用20μm的測點)測量PR。PR的折射率尚不清楚。PR的光學常數用CauchyK近似表示----n和k隨厚度一起測量

圖4 矽片上的光刻膠點(15×15um)

圖5測量結果:模型與(yu) 實測數據的擬合。厚度:3341nm

圖6 測量光刻膠的n和k

四、藍寶石晶圓上的光刻膠。

為(wei) 了準確地確定PR的R.I.離散度，我們(men) 首先使用直接曲線擬合並測量以下參數:

1.PR的厚度

2.PR的R.I.色散。直接測量的參數是柯西係數，因為(wei) 色散是用柯西近似表示的。

3.表麵粗糙度校正和比例尺。這些參數校正了到樣品的距離和殘餘(yu) 的背麵反射/散射的變化

一旦膜疊確定-我們(men) 可以使用FFT進行測量，使其在生產(chan) 環境中非常容易和可靠，

圖7 藍寶石上的PR。測量參數:厚度，R.I.的PR(柯西係數)，表麵粗糙度和尺度。

圖8 調整粗糙度和比例尺參數

圖9光刻膠R.I.色散(測量柯西係數)

圖10 藍寶石上的光刻膠。厚度是用曲線擬合的FFT(膜疊)確定的，圖7使用)

五、銅上的光刻膠(印製板)

光刻膠沉積在印製板(銅)上，使用MProbeVisHR係統(700-1000nm)進行測量。PR的折射率n≈1.6。

銅表麵有致密的黑色圖案，並被打結，這產(chan) 生了相當數量的散射。因此，我們(men) 使用了厚膜算法(FFT)來確定厚度。

圖11 測量的反射光譜(放大部分如圖所示)。反射率約0.3%的振蕩/條紋表明存在PR。由於(yu) 散射，振幅很小。

圖12 印製板上PR的測量。峰表示PR的厚度(45.54um)，盡管光譜中的特征很弱，但峰十分清晰。

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