聚對二甲苯(對二甲苯)聚合物塗層具有保形和無針孔的特點,在許多国产成人在线观看免费网站中用作防潮和介電屏障。聚對二甲苯聚合物有幾種類型:聚對二甲苯C、聚對二甲苯N、聚對二甲苯AF-4、聚對二甲苯SF、聚對二甲苯HT、聚對二甲苯X等。所有這些類型的聚對二甲苯具有不同的化學和光學性質,因此折射率可以根據材料的類型而顯著變化。在本文中,我們(men) 討論了在金屬樣品上直接測量聚對二甲苯塗層厚度的方法。同樣的方法可以用於(yu) 測量任何其他表麵上的聚對二甲苯塗層。
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聚對二甲苯厚度測量
我們(men) 將討論開發薄膜堆棧的步驟和測量結果:
1. 使用厚膜算法快速估計厚度。由於(yu) 我們(men) 不知道R.I散度,所以結果不準確。但是,一旦我們(men) 確定了R.I分散,我們(men) 就可以在生產(chan) 中使用這種方法進行快速測量
2. 測量零件的未塗覆表麵,並建立薄膜堆以適應該數據
3. 測量聚對二甲苯塗層厚度和R.I分散度
聚對二甲苯薄膜通常很厚,假設折射率(材料的色散)已知,使用FFT厚膜算法很容易測量它們(men) 的厚度。這種方法不需要精確的校準或詳細的膜堆模型,在生產(chan) 環境中使用方便。然而,如果不知道正確的折射率,厚度讀數也會(hui) 不準確。
樣品測量
MProbe 20 Vis在400-1000nm波長範圍內(nei) 測量包覆和未包覆的樣品。
圖1 帶有聚對二甲苯塗層的Al樣品
為(wei) 了快速估計樣本的厚度,我們(men) 使用了基於(yu) 厚膜FFT的算法
圖2 聚對二甲苯厚層在拚接鋁上的反射光譜。
圖3 采用厚膜算法測量(12.7 μm)的結果-假設對二甲苯X折射率
由於(yu) 我們(men) 不知道我們(men) 使用的折射率是否正確,我們(men) 需要驗證模型與(yu) 測量數據的擬合。這將使我們(men) 能夠更準確地確定折射率和厚度。
為(wei) 了測量塗層,我們(men) 首先需要測量未塗層的鋁,以確定聚對二甲苯塗層下的膜堆。測量結果如圖4所示。
我們(men) 從(cong) 這個(ge) 測量中得到了幾個(ge) 信息:
a).有一層氧化鋁層(≈72 nm)
b).表麵粗糙度為(wei) ≈30 nm
c).該鋁樣品的反射率為(wei) 標準拋光鋁的約40%。
所有這些信息都包含在模型中,以達到良好的擬合,並將用於(yu) 我們(men) 的zui終模型的聚二甲苯堆棧。
圖4 該模型與(yu) 未塗覆鋁的測量結果吻合良好
為(wei) 了檢查我們(men) 使用厚膜算法對聚對二甲苯的原始測量結果,我們(men) 可以覆蓋模型和測量數據並檢查擬合(圖5)。振蕩的周期匹配得很好,正如我們(men) 所期望的,但是振幅不匹配。這意味著我們(men) 使用的折射率是不準確的。
為(wei) 了達到更好的擬合,我們(men) 需要調整折射率和厚度(圖6)。
圖5 原聚對二甲苯測量結果(厚膜算法)與(yu) 實測數據疊加。
圖6 調整厚度和色散後的模型與(yu) 實測數據的擬合。
振幅和周期都是匹配的。(見圖7折射率色散)
圖7 與(yu) ParyleneX(~ 1.67)相比,通過測量確定的聚對二甲苯的折射率明顯更高(~ 2.15)。因此,實際厚度為(wei) 9.69μm,而zui初使用不正確的折射率確定的厚度為(wei) 12.7 μm。
現在我們(men) 通過直接擬合數據確定了聚對二甲苯的分散。並且可以用在厚膜算法中,
圖8 采用更新的聚對二甲苯色散的厚膜測量算法。厚度結果顯示,鋁表麵存在67nm的氧化鋁。
使用MProbe 20 Vis和所描述的方法,可以直接在国产欧美在线樣品上方便地測定特定聚對二甲苯膜的R.I./分散度和厚度。該色散數據可以與(yu) 厚膜算法一起使用,非常適合於(yu) 離線或在線測量的生產(chan) 環境。
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