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石英注射器厚度測量

發布時間:2024-08-23 14:04:09 瀏覽量:788 作者:Alex

摘要

MProbeVis-MSP(400-1000nm波長範圍,10nm至50um厚度範圍)提供非破壞性測量解決(jue) 方案,以確定矽層的厚度。測量可以很容易地完成從(cong) 該批選定的国产欧美在线。在線測量需要額外的持有人和自動化旋轉和移動注射器映射薄膜厚度分布。內(nei) 聯係統采用大功率Xe閃光光源,外加TH燈可選,實現快速測量。

正文


石英注射器厚度測量


可預填充的玻璃注射器盒由製造商清洗,矽化,消毒和包裝。矽化的注射器桶是非常重要的-它作為(wei) 潤滑劑,使柱塞滑動順利。它還提供疏水層,防止藥物與(yu) 玻璃表麵相互作用。矽化不足和矽化過度都會(hui) 引起問題。在現代生產(chan) 中,大多數矽化都是使用“烘烤”工藝,即先噴灑矽乳液,然後再烘烤以形成永久層。矽層厚度和均勻性的生產(chan) 控製是国产欧美在线質量控製的重要內(nei) 容。


由於(yu) 桶的高曲率,測量是用一個(ge) 小點(20um到40um)完成的。


圖1a 注射器盒放置在MProbeVis-MSP表上。

顯示了測量點的位置(“round measure”是旋轉注射器時測量的點)


圖1b 注射器筒沿7個(ge) 不同點測得的反射光譜


圖2 測量結果的實例厚度是通過將矽化層模型擬合到測量數據來確定的


圖3 測量結果示例(薄層)。厚度是通過將矽化層模型擬合到測量數據來確定的


圖4 測量結果示例(厚層)。厚度是通過將矽化層模型擬合到測量數據來確定的


圖5 測量了沿注射器筒的矽層厚度分布


圖6 測量矽化層厚度分布-測量旋轉注射器


圖7 測量未塗覆(上二)和塗覆/矽化(下三)3ml注射器桶的反射光譜。塗層為(wei) ~150nm


圖8 注射器筒上矽化層厚度測量結果。模型與(yu) 實測數據的擬合


矽化瓶


與(yu) 注射器類似,玻璃小瓶內(nei) 部是矽化的,以防止藥物與(yu) 玻璃中的摻雜劑/汙染物發生反應。這種塗層的厚度通常比注射器薄。


圖9 標有測量點的小瓶


表1 測量結果(瓶內(nei) 矽化層的厚度)測量使用40um點尺寸完成


圖10 測量點的原始反射光譜(與(yu) 未塗膜小瓶比較)


圖11 測量實例的結果(模型與(yu) 實測數據的擬合)


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