SLM是基於(yu) LCOS（Liquid Crystal On Silicon液晶覆矽）工藝開發出來的，由蓋板玻璃，前透明電極，液晶層，反射鏡像素，集成電
路背板（CMOS工藝）等結構組成。SLM有著廣泛的国产成人在线观看免费网站，可以用於(yu) 光束轉向、分束、調焦，光鑷，脈衝(chong) 整形，衍射光學等領域。
結構：
SLM是基於(yu) LCOS（Liquid Crystal On Silicon液晶覆矽）工藝開發出來的，由蓋板玻璃，前透明電極，液晶層，反射鏡像素，集成電
路背板（cmos工藝）等結構組成。SLM有著廣泛的国产成人在线观看免费网站，可以用於(yu) 光束轉向、分束、調焦，光鑷，脈衝(chong) 整形，衍射光學等領域。
SLM的剖麵圖和相位調製原理圖如圖一所示：
圖1 SLM截麵圖及相位調製原理
蓋板玻璃起到保護和封裝液晶的作用，針對實際使用中光源的不同波長範圍，蓋板玻璃表麵鍍有相應波長範圍的寬譜AR膜，可以大大
減少反射光，提高係統效率。
前透明電極層位於(yu) 液晶層的頂部，加載有恒定電壓。
液晶層是SLM中的工作物質，液晶分子的排列狀況可以在電場作用下發生變化，從(cong) 而改變經過該像素的光的相位延遲。
像素位於(yu) 液晶層底部，其上鍍有鋁或介質膜的反射層，具有很高的反射效率。
集成電路背板將加載到像素的灰度轉換為(wei) 相應的電壓，與(yu) 透明電極一起在該像素上形成控製液晶層偏轉的電場。
偏振光從(cong) 設備頂部進入，經過蓋板玻璃、前透明電極層和液晶層，在像素電極上反射後返回相同的路徑。像素之間留有間隙，起到絕緣
的作用，這也使得SLM的填充率達不到100%，這一定程度上降低SLM的效率，鍍有介質膜的SLM可以填補像素之間的間隙，實現
100%的填充率。由於(yu) 每個(ge) 像素都是獨立控製的，通過在每個(ge) 像素上加載不同的電壓可以產(chan) 生相位圖。像素底部的集成電路背板可以將
灰度值信息轉換為(wei) 相應的電壓值加載到像素上，這個(ge) 電壓值可以通過LUT寫(xie) 入和校準。同時集成電路的性能決(jue) 定了SLM的切換速度和相
位穩定性。
工作原理：
SLM使用向列相液晶作為(wei) 工作物質，在不加電場的情況下，液晶分子排列平
行前蓋板玻璃和底層集成電路背板（VLSI Die），此時入射光的非自然光折射率(ne)和自然光折射率(no)之間的差最大。如果入射到
SLM上的光是平行於(yu) 非尋常軸的線偏振光，此時入射光與(yu) 出射光間產(chan) 生最大的相位延遲。隨著施加在液晶上的電壓的增加，液晶分子
在層內(nei) 發生旋轉、傾(qing) 斜直到達到極限，此時液晶分子幾乎垂直蓋板玻璃和集成電路背板，o光和e光之間折射率差最小，幾乎為(wei) 零，出
射光與(yu) 入射光之間有最小的相位延遲。每個(ge) SLM像素都是獨立可編程的，256個(ge) 離散的電壓狀態可以觀察到純電壓相關(guan) 的相移。
圖2 未加電場（左）和滿電場（右）情況下液晶分子排列示意圖
光路：
根據XY相位係列SLM的国产成人在线观看免费网站，許多不同的光學配置可以用於(yu) 組合相位-振幅模式或純相位模式。下麵顯示了兩(liang) 個(ge) 純相位光學測試配置的
示例。
第一個(ge) 光學裝置，如圖3所示，是Twyman-Green幹涉儀(yi) 的修改版。在這種情況下，單色準直光源(激光擴束後光斑直徑需大於(yu) SLM的
對角線)通過非偏振分束器，光束被分成兩(liang) 束強度幾乎相等的光束。其中一束照亮了XY相位係列SLM，而另一束照亮了參考鏡。兩(liang) 束反
射的光束在透鏡的成像平麵上重新組合。如果參考鏡和SLM仔細對齊，使它們(men) 接近共麵，在像麵上就會(hui) 看到幹涉條紋。攝像機被放置
在成像平麵上，以便放大條紋便於(yu) 觀察。當XY相位係列SLM以不同的相位圖驅動時，可以看到動態幹涉條紋。分析幹涉條紋可以獲得
XY相位SLM進行相位調製信息。
圖3 SLM的Twyman-Green 幹涉儀(yi) 光路
圖4所示的離軸配置，在光路中移除了非偏振分束器，從(cong) 而最大限度地提高升係統效率。激光束以一個(ge) 輕微的角度（≤15°）入射到SLM
上，照射到SLM上，經像素反射鏡反射，然後用鏡頭在相機上成像。請注意，因為(wei) 這個(ge) 光學裝置不是幹涉儀(yi) ，實際的相位調製在相機
上是不可見的。這個(ge) 光學設置隻是為(wei) 了說明離軸係統的概念。應該修改配置以滿足確切的国产成人在线观看免费网站需求。偏軸角盡可能小，以減少光線通過
超過一個(ge) 像素區域而產(chan) 生的串擾效應。使偏軸角最小化也使相位延遲更接近設計值。
圖4 XY相位係列SLMs的離軸光學裝置
圖5 一種可獲得的XY相位係列SLMs的離軸光學裝置實物圖
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