ALIO高精度六軸位移台/六足位移台Hybrid Hexapod

ALIO六軸位移台/六足位移台Hybrid Hexapod-高精度

昊量光電推出全新一代高精度六軸位移台Hybrid Hexapod采用了與(yu) 傳(chuan) 統6自由度(6-D)定位設備不同的方法，並以極具競爭(zheng) 力的價(jia) 格展示了更高的性能。六軸位移台Hybrid Hexapod結合了精密XY單片工作台、三腳架和連續旋轉的Theta- Z軸，而不是6個(ge) 獨立的腿(和12個(ge) 連接接頭)，提供卓越的整體(ti) 性能。這使得傳(chuan) 統的六足位移台運動學過時了，在精度、路徑性能、速度、剛度和更大的工作範圍上都有了數量級的改進，幾乎可以無限的XY行程，完全可編程的工具中心點位置。

六軸位移台Hybrid Hexapod具有小於(yu) 100nm的三維6軸點精度重複性，使其成為(wei) 激光加工、光學檢測、光子學、半導體(ti) 、計量和醫療設備領域以及所有微加工項目的關(guan) 鍵任務国产成人在线观看免费网站的關(guan) 鍵技術。

傳(chuan) 統的六足位移台無法達到亞(ya) 微米的精度，因為(wei) 它們(men) 需要精確協調所有六個(ge) 軸的運動來完成一個(ge) 運動輪廓，即使這個(ge) 要求隻是一個(ge) 簡單的單軸運動。此外，盡管人們(men) 普遍認為(wei) 六足位移台比串行堆疊的多軸係統表現出良好的剛度，但這實際上隻是在垂直的“Z”軸上，在“XY”平麵上存在弱點。

特點

• 高精度交叉滾柱導軌

• 直接讀取增量或使用絕對編碼器控製所有承軸

• 線性壓電電機和/或滾珠絲(si) 杆驅動器

• 無限製編輯工具中心點位置和坐標位移

• 所有承軸零間隙

主要參數

• XY軸行程60mm和100mm，蕞大450mm（無限製XY行程）

• Z軸行程62mm（其他同類国产欧美在线蕞大208mm）

• Tip/Tilt 行程 ±30 Deg, 連續可調 360 Deg Theta-Z

• XYZ 雙向重複性小於(yu) ±100nm

• 角度雙向重複性小於(yu)  ±0.6 arc-sec

• XY軸位移速度可達100mm/s，Z軸位移速度可達20mm/s Z (大於(yu) 線性電機版)

• 線性不穩定性小於(yu) 20nm，角不穩定性小於(yu) 0.1 arc-sec

  
  

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• 非球麵和自由光光學檢測

• 封裝與(yu) 探測矽光子

• 激光微加工（非平麵基板和錐度控製）

• 晶圓測量

• 相機模塊的對準與(yu) 裝配

• 傳(chuan) 感器/圖像穩定性測試

• 光學元件的光纖耦合

迷你六軸位移台MINI Hybrid Hexapod

    ● 行程 XY/Z/AB/G :   60/15/10/360

    ● 蕞大線性速度和角速度 :   25 mm/s and 30 deg/sec

    ● 線性分辨率 : < 5nm

    ●雙向重複定位精度 :  <± 80nm

    ●位移精度 :< 1 µm

迷你六軸位移MINI Hybrid Hexapod是自動鏡頭對準/粘接到ccd陣列的理想選擇。它在構建相機陣列模塊、平移式OIS、用於(yu) 手機相機和無人機等日常国产欧美在线中的微型相機

的望遠鏡集成鏡頭方麵都很有幫助。任何需要6度自由定位的納米/弧秒級增量運動和重複性的国产成人在线观看免费网站都非常適合該国产欧美在线，因為(wei) 国产欧美在线傳(chuan) 感器分辨率的提高推動了對更高精度的需求。

無限XY行程大角度六軸位移台Angulares Hybrid Hexapod

HYBRID HEXAPOD®采用直線電機驅動

    ● Max.行程 XY/Z/AB/G :  無限/206/40/360

     ●  Min.行程XY/Z/AB/G  :  60/6/5/360

    ● 蕞大線性速度和角速度 :   500 mm/s and 180 deg/sec

    ● 線性分辨率 : < 5nm

    ●雙向重複定位精度 :  <± 80nm

    ●位移精度 :< 1 µm

到目前為(wei) 止，大角度六軸位移台Angularstm Hybrid Hexapod的60度tip/tilt行程是市麵上任何六自由度(6-DOF)定位器所能提供的zui大角度行程範圍。它非常適合国产成人在线观看免费网站於(yu) 非球麵和自由曲麵光學計量，矽光子學封裝和探測，激光微加工(非平麵基片和錐度控製)，晶圓計量，相機模塊對準和裝配，傳(chuan) 感器/圖像穩定測試，以及光學元件和光纖對準。

大角度六軸位移台具有精密交叉滾子軸承導軌，光學增量或絕對編碼器反饋在所有軸，直線電機和/或伺服滾珠絲(si) 杠驅動器，無限可編程的工具中心點位置和坐標偏移，和零後座力。它能夠無限XY位移,Z軸位移在使用其它三腳架模式下62mm增加到208mm，連續360度Theta-Z下的60度tip/tilt行程(+/- 30度)， XYZ雙向重複性小於(yu) +/- 0.6角秒，速度高達100mm/s  XY和Z，小於(yu) 10nm的線性和0.1弧秒的小增量角運動。

真空六軸位移台MINI Hybrid Hexapod

    ● 行程 XY/Z/AB/G :   100/24/12/360

    ● 蕞大線性速度和角速度 :    500 mm/s and 180 deg/sec

    ● 線性分辨率 : < 5nm

    ●雙向重複定位精度 :  <± 80nm

    ●位移精度 :< 1 µm

三腳架（三自由度）采用直線電機驅動

   ● Min.行程 XY/AB :  6mm / ±2 degrees

    ● Max.行程 XY/AB : 206mm / ±22 degrees

    ● 蕞大線性速度和角速度 :   500 mm/s and 180 deg/sec

    ● 線性分辨率 : < 5nm

    ●雙向重複定位精度 :  <± 80nm

    ●位移精度 :< 1 µm

三腳架+旋轉（四自由度）

采用直線電機驅動

    ● Min.行程 XY/AB/G :  6mm / ±2 degrees/無限

    ● Max.行程 XY/AB/G : 206mm / ±22 degrees/無限

    ● 蕞大線性速度和角速度 :   500 mm/s and 180 deg/sec

    ● 線性分辨率 : < 5nm

    ●雙向重複定位精度 :  <± 80nm

    ●位移精度 :< 1 µm

ALIO’s Hybrid Hexapod® 為(wei) 6D Motion 提供了一種革命性的方法，與(yu) 傳(chuan) 統的六足設計相比，精度高出一個(ge) 數量級，行程更長，速度更快，剛度更大。

和市麵上主要的同類国产欧美在线相比，ALIO’s Hybrid Hexapod®的優(you) 勢顯而易見。下麵的視頻也可以更加直觀的感受到運動控製的體(ti) 驗：

同時幾種定製化配置可以滿足你更多的需求：