DMD無掩模光刻是光學無掩模光刻技術的一種，該技術使用數字DMD代替傳(chuan) 統的掩模，借助於(yu) DMD對常規掩膜予以取代而展開光刻
成像，借助DMD對光源展開反射式調製，把涉及的虛擬數字掩膜移至矽晶圓基片，進而進行曝光。
何為(wei) DMD?
DMD即“Digital Micromirror Device”數字微鏡器件,是一種基於(yu) MEMS技術的微反射鏡陣列單元，單元數量可達百萬(wan) 量級，是一種
電子輸入、光學輸出的微機電係統 (MEMS)，開發人員可借助該係統執行高速、高效及可靠的空間光調製。
圖1：DMD單個(ge) 工作單元圖示
1、何為(wei) 無掩模光刻？
無掩膜光刻即不采用光刻掩模板的光刻技術。在傳(chuan) 統光刻過程中，需要采用光學照射掩模版的方式將圖案轉移到掩模版上；而在無掩模
光刻中，對目標圖案的轉印不需要掩模版，而是通過電子束或光學的方式直接在基片上製作出所需要的圖案，這種方式避免了傳(chuan) 統方式
製作掩模版效率低、分辨率低、成本高的缺點。
2、何為(wei) DMD無掩模光刻？
DMD無掩模光刻是光學無掩模光刻技術的一種，該技術使用數字DMD代替傳(chuan) 統的掩模，借助於(yu) DMD對常規掩膜予以取代而展開光刻
成像，借助DMD對光源展開反射式調製，把涉及的虛擬數字掩膜移至矽晶圓基片，進而進行曝光。
DMD無掩模光刻係統本質上是一種高精度加工平台，如下圖所示，主要包括投影光源部分、DMD光調製部分、投影物鏡和光可調平台
部分。
圖2：法國Microlight3D国产黄色在线观看DMD無掩模光刻係統結構圖
3、DMD無掩模光刻相比傳(chuan) 統光刻有什麽(me) 優(you) 點？
借助DMD無掩模光刻成像的效率是傳(chuan) 統光刻無法比擬的，其光刻成像過程完全受計算機控製，因而便於(yu) 更改數字虛擬掩膜，並且DMD
的成本較低，可以循環使用，極大的簡化了傳(chuan) 統光刻的流程，也大大降低了光刻加工的成本。
4、Smartprint UV無掩模光刻係統有什麽(me) 優(you) 勢？
Smartprint UV無掩模光刻係統源自法國Smart Force Technologies (SFT)国产黄色在线观看，廣泛国产成人在线观看免费网站在微尺度2D打印的各個(ge) 領域。SFT国产黄色在线观看於(yu)
2019年被法國高分辨率2D&3D打印係統製造商Microlight3D国产黄色在线观看收購。
圖3：Smartprint UV無掩模光刻係統外觀，尺寸52×52×69mm3
SmartPrint UV是基於(yu) DMD投影技術，與(yu) 廣泛的抗蝕劑和基材兼容。
SmartPrint UV可以在微米分辨率下產(chan) 生任何二維形狀，而不需要硬掩模。
SmartPrint UV適用於(yu) 任何需要表麵微觀圖案的国产成人在线观看免费网站領域，如微流控、生物技術和微電子。
特點匯總：
分辨率可至1.5um
兼容i線、h線和g線光刻膠
兼容各種基材（石英、玻璃、金屬、塑料）
可更換物鏡（1×、2.5×、5×、10×）-可調視場和分辨率
兼容5*5英寸樣品
台式超緊湊設計
核心規格：
| 標準版本 | 高級版本 | |
| 光源 | 曝光波長：385nm；校準波長：590nm | |
| 最小特征尺寸 | 1.5um | |
| 校準精度（1cm2打印區域） | 2um | 1um |
| 最大曝光範圍 | 70×70mm2 | 110×110mm2 |
| 基材尺寸 | 可達4英寸 | 可達5*5英寸 |
| 直寫速度 | 77mm2/min | 220mm2/min |
| 係統尺寸 | 52×52×69mm2 | |
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