DMD無掩模光刻機 SmartPrint UV System
DMD無掩模光刻機SMART PRINT UV是一種基於(yu) DMD投影技術的無掩模光刻設備，可兼容多種光刻膠和基材。SMART PRINT UV可以生產(chan) 任何微米分辨率的二維形狀，而不需要硬掩模。基於(yu) 改進後的標準投影技術，投影出具有微米分辨率的圖像，無掩模光刻機SmartPrint無需任何進一步步驟，就能直接從(cong) 數字掩模光刻出您要的圖。無掩模光刻機SmartPrint主要国产成人在线观看免费网站是MEMS, 微流體(ti) ，二維材料，自旋電子學，生物技術和微電子等領域光刻表麵微納圖案。
主要特性：
兼容SU-8、i、h、g線、AZ係統和寬帶光刻膠等
SmartPrint-UV配備了385 nm光源或者405nm激光光源，以兼容標準i, h和g線光刻膠，如SU8或AZ®1500係列
適用於(yu) 各種各樣的基材
除了矽、玻璃、塑料、金屬等基材還可兼容非標準基材(柔性薄膜基底，非平的，厚的)。
高速激光掃描振鏡曝光速度
1000mm/s（10倍物鏡）或 5000mm/s（2.5倍物鏡）
可對激光直寫(xie) 過程進行實時監控
物鏡類型
我們(men) 的物鏡經過精心選擇，有1X、2.5X、5X、10X四款鏡頭，具有較長的工作距離(高達3厘米)，使SP-UV成為(wei) 一種非接觸式技術。
可調直寫(xie) 範圍和分辨率——用戶可獲得4種不同的直寫(xie) 分辨率
蕞小特征尺寸≤1um
手動旋轉台：360°可旋轉，精度 0.1°
兼容任何尺寸的樣品，可至5平方英寸
對齊方式直觀——反饋相機與(yu) 第二束590nm準直光源疊加使用
占地空間小，易維護
国产成人在线观看免费网站領域：
光器件 微流控 微電子
指標參數：
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