薄膜，對許多以技術工藝為(wei) 基礎的行業(ye) 是較為(wei) 重要的。為(wei) 了實現設計功能，薄膜必須有合適的厚度，成分，粗糙度，和特定国产成人在线观看免费网站的其它重要特性。這些特性往往需要在薄膜的製造過程之中或之後測量。光學和探針測量是薄膜測量的兩(liang) 種主要類型。
膜厚測量原理（一）-薄膜
沉積在另一種物質表麵的非常薄的物質層，即薄膜，對許多以技術工藝為(wei) 基礎的行業(ye) 是較為(wei) 重要的。薄膜被廣泛地用於(yu) 導體(ti) 之間的鈍化絕緣層、防擴散層、以及防劃痕和磨損的硬塗層。集成電路就主要由一係列薄膜的沉積和選擇性的去除組成。
常見国产成人在线观看免费网站中的薄膜厚度從(cong) 幾個(ge) 原子（<1納米或 0.0001微米）到100微米 （人頭發的寬度）。薄膜可以通過許多不同的過程形成，包括包括旋轉塗膜、真空蒸鍍、濺射、氣相沉積和浸塗。
為(wei) 了實現設計功能，薄膜必須有合適的厚度，成分，粗糙度，和特定国产成人在线观看免费网站的其它重要特性。這些特性往往需要在薄膜的製造過程之中或之後測量。光學和探針測量是薄膜測量的兩(liang) 種主要類型。
探針測量是通過監測精密探針劃過薄膜表麵的偏移測量薄膜厚度和粗糙度。探針測量受限於(yu) 速度和精確度，而且測量時要求薄膜和耐底之問有一個(ge) “台階”。探針測量常常是不透明薄膜，如金屬薄膜的較佳測量方法。
光學測量是通過測量薄膜與(yu) 光相互作用來決(jue) 定薄膜特性。光學方法可以測量薄膜的厚度、粗糙度及光學常數。光學常數用來描述光通過某種物質時的傳(chuan) 播和反射。光學常數可以和材料的其他參數，如成分和帶隙聯係起來。
由於(yu) 光學測量方法準確，無破壞，隻需很少或無需專(zhuan) 門樣品，光學測量法常常是薄膜測量的較佳方法。常見的兩(liang) 種光學測量法是光譜反射法和橢偏法。光譜反射法測量一定波長內(nei) 光線查直人射到樣品表麵時，薄膜衣麵反射回來的光。橢偏法則測量非垂直入射光的兩(liang) 種不網的偏振。總的來說，光譜反射法比橢偏法簡單、經濟得多，但是局限於(yu) 測量比較不複雜的結構。
光學常數 (n和k)描述光如何通過薄膜傳(chuan) 播。在某個(ge) 時間光穿過一種物質的電磁場可以簡單表示為(wei) ：
其中x:距離，λ：光波長，n和k：薄膜相應的折射率和消光係數。折射率是光在物質和真空中傳(chuan) 播速度的比值。消光係數是測量光在物質中被吸收了多少。
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