膜厚測量原理（六）-台式薄膜測量係統的優勢

正文

膜厚測量原理（六）-台式薄膜測量係統的優(you) 勢

MPROBE20

數秒內(nei) 的薄膜測量

台式MPROBE20可以快速、簡便地測量厚度，光學常數（n和k）和透射率。這台功能 齊全的儀(yi) 器能測量1納米到1毫米厚的透光或半透光的薄膜。精度一般在幾個(ge) 埃。光斑大小可調節並且範圍很寬。

超高的性價(jia) 比 

Semiconsoft很高興(xing) 能提供突破性的低價(jia) 格，使原本又困難又昂資的薄膜測量變得很便宜很簡單。

附件

多種不同的平台，晶圓平台和特殊測量探頭可適合大部分樣品的尺寸。

在線測量 

針對製程国产成人在线观看免费网站，Semiconsoft的測量係統僅(jin) 需要在光路上直視待測樣品，並提供與(yu) 多種控割係統的接口。

把顯微鏡變成薄膜厚度測量工具 

用於(yu) 圖形化表麵和光斑小至10微米的薄膜厚度測量国产成人在线观看免费网站。

MPROBE20可以方便地與(yu) 絕大多數顯微鏡相連。標淮c型精接器可以和測量點的ccd相機相連。

厚度測繪係統 

將MPROBE20厚度測量功能和直觀操作作延伸為(wei) 大麵積樣品的自動測繪。

幾分鍾內(nei) 顯示樣品的均勻性。五不到數百個(ge) 點 的掃描速度可達每秒1個(ge) 點。最大到12英寸晶圓的標準平台。晶圓平台可隨客戶需要自定。

一般規格	VIS	VISHR	VISNIR	NIR&NIRHR	UVVISR	UVVISF	UVVISNIR
測量厚度範圍	10nm-75um	1um-400um	50nm-100um	50nm-1800nm	1nm-75um	1nm-5um	1um-150um
光源	鹵素燈（氙燈）				鹵素燈（氙燈）&氘燈
波長範圍	400nm-1000nm	700nm-110nm	380nm-1700nm	900nm-1700um 1500nm-1550nm	200nm-1000nm	200nm-1000nm	200nm-1700nm
準確度(取較大者)	<0.2% 或1 nm	<0.1% 或1 nm	<0.2%                                                     或1 nm
精度（分辨率）	<0.01nm或                                                            0.01%						<0.1nm或 0.1%
穩定性	<0.02nm或                                                            0.03%						<0.2nm或者 0.3%
光斑大小	標準1mm,最小0.5mm
光源壽命	最高可達10000小時壽命

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