德國TEM激光光束指向和位置穩定係統介紹

一、国产欧美在线概述

激光光斑漂移問題解析

德國TEM研發的激光束自動穩定係統-Aligna和ualigna係統使用2個(ge) PSD 2D探測光束指向和位置偏移量，閉環反饋控製快速反射鏡實時

補償(chang) 光束偏移，反饋精度可達1urad，反饋帶寬>1kHz。係統提供的自學習(xi) 軟件算法可以適用於(yu) 任意光路布置方案，並進行快速優(you) 化鎖

定，解決(jue) 了機械振動引起的位置漂移和高功率激光器引起的角度漂移。Aligna係統大幅提高激光加工精度，並提供自動校準光路功能。

目前廣泛国产成人在线观看免费网站在太陽能薄膜電池劃線、PCB及柔性屏精密切割、激光精密打孔、半導體(ti) 晶圓在生產(chan) 製造過程中的切割、測量、曝光控

製等。 此係統已被Manz、BOSCH、三星、LIS、TRUMPF、TOPTICA Photonics、等国产黄色在线观看廣泛国产成人在线观看免费网站。

二、多光路控製係統   

        快反鏡                              Kangoo控製軟件

係統配置：

• Piezo和Motor嵌套式快速反射鏡

• 4D 位敏探測器（光束位置和角度）

• 多光路控製機箱（包含快反鏡驅動，探測信號處理模塊，PID調節器等）

• 軟件（自學習(xi) 優(you) 化算法，全自動閉環穩定，光束坐標及功率監控）

係統特點：

• 連續波和脈衝(chong) 激光器:  重複頻率 0.1 Hz- 200 MHz / 連續波 

• 模塊化係統, 單裝置4光束控製 

• 反饋精度:    1 µm,  1 µrad   (最低可達 10-100 nm) 

• 超大掃描範圍:  接近 18° 

• 全波段 (標準: 380- 1100 nm, 定製180 nm- 10 µm, THz),  任意光束直徑 

• 高速度:伺服頻寬超過 5 kHz ，壓電驅動製動器和機械裝置多種組合 

• 全計算機控製 (USB, 串口, 局域網) ，完全獨立操作 

• 外部測量裝置連接件  (功率計, PDs, ...)

三、單光路控製係統

係統配置：

Piezo和Motor嵌套式快速反射鏡

4D 位敏探測器（光束位置和角度）

單光路控製機箱（包含快反鏡驅動，探測信號處理模塊，PID調節器等）

軟件（自學習(xi) 優(you) 化算法，全自動閉環穩定，光束坐標及功率監控）

係統特點：

連續波和脈衝(chong) 激光器:  重複頻率 15k Hz- 200 MHz / 連續波 

模塊化係統, 單光路光束控製 

反饋精度:    1 µm,   1 µrad   (最低可達 10-100 nm) 

超大掃描範圍:  接近 18° 

全波段 (標準: 380- 1100 nm, 定製180 nm- 10 µm, THz),  任意光束直徑 

高速度:伺服頻寬超過 5 kHz ，壓電驅動製動器和機械裝置多種組合 

全計算機控製 (USB, 串口, 局域網) ，完全獨立操作 

外部測量裝置連接件  (功率計, PDs, ...)
                 

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