激光束指向穩定係統 （提供樣品試用！）
德國TEM国产黄色在线观看aligna激光束指向穩定係統，使用2個(ge) PSD 2D位置敏感探測器實時探測光束角度和位置漂移量，自動反饋控製2個(ge) 快速反射鏡（基於(yu) 壓電和馬達）補償(chang) 光束漂移，保持激光實時角度和位置穩定，大幅提高激光指向精度，zui高反饋精度<100nm,<100nrad，並提供自動校準光路和功率監控功能。
激光光斑漂移問題解析：
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主要特點：
連續或脈衝(chong) 激光器0.1Hz-200MHz
全波段:180 nm-10 µm
高速度:伺服帶寬可高達到5kHz
微步進馬達和PZT壓電致動器
模塊化係統,可同時實現四光束控製
全自動閉環穩定，自學習(xi) 優(you) 化
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