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石墨烯CVD製備設備

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石墨烯CVD製備設備,二維材料製備穩定可靠

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国产欧美在线負責人:

姓名:李工(Maple)

電話:130 2028 5269(微信同號)

郵箱:qiang-li@weilancj.com

石墨烯CVD製備設備

這款配置的低真空CVD係統由1200℃真空管式爐,3通道氣路係統和真空係統組成,可根據用戶需要設計生產(chan) 有雙溫區、三溫區、多溫區),石墨烯CVD製備設備可預抽真空(有高真空、低真空),通多種氣氛(供氣係統有質子流量控製器和浮子流量控製器〕。真空泵、閥均釆用進口設備,性能可靠。控製電躋選用模糊PD程控技術,石墨烯CVD製備設備具有控溫精度髙,溫衝(chong) 幅度小,性能可靠,簡單易操作等特點。CVD生長係統適用於(yu) CVD工藝,如碳化矽鍍膜、陶片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結等。


石墨烯CVD製備設備技術參數:

1200雙溫區加熱爐

電壓 AC220V 50/60Hz

功率 4.5KW 雙溫控

Max溫度 1150 °C

工作溫度 ≤ 1100 °C

升溫速率 ≤  15°C/min

溫控係統 PID自動控製晶閘管(可控矽)輸出功率,30段可編程控製器

恒溫精度 ±1°C

石英管 25/50/60/80*1400mm


三路質量流量控製係統

MAX電壓 185~245V/50Hz

MAX輸出功率  18W

流量計標準量程 50,100,200,500SCCM(非特殊指定以氮氣標定,量程可選定)

工作溫度 5~45  °C

工作壓差 0.1~0.5 MPa

MAX壓力 3MPa

準確度 ±1.5%FS


低真空係統

采用雙極旋片真空泵

不鏽鋼充油真空壓力表,良好的抗震性

安裝過濾器


內(nei) 置測溫係統

測溫元件可從(cong) 加熱區邊緣延申至溫區中心法蘭(lan) 密封,保證爐管的密封性測溫元件,N型熱電偶

法蘭(lan) 及支撐

304不鏽鋼快速水冷法蘭(lan) ,長期水冷無腐蝕,一個(ge) 卡箍就能完成法蘭(lan) 的連接,放取物料方便快捷可調節法蘭(lan) 的支撐,平衡爐管的受力支撐。包含進氣,出氣,真空抽口針閥,KF密封圈及卡箍組合,4個(ge) 密封矽膠圈等。


石墨烯CVD製備設備可選配件

混氣係統,中,高真空係統,各種剛玉坩堝,石英管,計算機控製軟件,無紙記錄儀(yi) ,氧含量分析儀(yi) ,冷卻水循環機。



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