台式X射線源

台式X射線源

激光源產(chan) 生的紫外/軟X射線輻射是Gottingen激光實驗室開發的，由高脈衝(chong) 能量YAG激光器（1064nm，800mJ，7ns）聚焦於(yu) 氣體(ti) 電離產(chan) 生。不同的目標氣體(ti) 對應不同的能譜分布。

指標參數：

波長範圍：              1 -  20nm 

脈衝(chong) 寬度：              7ns

脈衝(chong) 能量 (Xe):         3.5mJ

                              (4π sr, 2% BW)

轉換效率 (Xe)：       0.45%

等離子分布：           Φ ~ 300um

重複頻率：              達10Hz

▼  Sketch of the sources  equipped with an ellipsoidal focusing mirror.  

     Intensity profiles indicate the beam shape measured behind the optic.                                             ▲  Emission Spetra of Various target gases

特點：                                                                                          国产成人在线观看免费网站：

■     低殘留物                                                                                ■     度量學：反射計量，吸收光譜 （NEXAFS）

■     高EUV能量（3.5mJ）                                                            ■     光學 / 傳(chuan) 感測試

■     氣體(ti) 消耗量少                                                                         ■     EUV 損傷(shang) 研究

     （氣體(ti) 脈衝(chong) 周期 <1ms ）

■     簡易的目標氣體(ti) 更換                                                              ■     材料作用的基礎研究

■     桌麵台式係統                                                                         ■     水窗顯微鏡技術（λ =2-4nm)

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