該款EUV,X射線Hartmann-Shack波前傳(chuan) 感器配置是為(wei) 全麵分析激光束和光學特性而設計。係統采用微透鏡陣列將入射波分成大量的子射線(如右下圖),每個(ge) 焦點的強度和位置由ccd相機獲取,經後續計算重構得到光強分布和波前分析。
主要特點:
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