超分辨光學微球顯微鏡(SMAL)紅外光學顯微鏡納米表麵輪廓儀(yi) Nioses納米機械測試/原位納米壓痕儀(yi) 白光幹涉顯微鏡及物鏡——三豐(feng) Mitutoyo紅外輻射顯微成像係統（微觀溫度分布成像）
紅外輻射顯微成像係統（微觀溫度分布成像）
IRLabs的IREM-IV紅外顯微鏡係統使您能夠更快、更準確、更可靠地進行半導體(ti) 故障分析和調試。
IREM-IV相機提供超低噪聲擴展波長PEM成像，在工作電壓為(wei) 400 mV的10 nm設備上具有經驗證的發射成像靈敏度。自行設計和製造的相機，用於(yu) 低維護操作，具有卓越的功能，包括6位透鏡轉盤和超過20小時的LN2持續製冷時間。光學擴展端口為(wei) 外部激光掃描OBIRCH、LADA、TIVA和其他成像模式提供了升級路徑。
3.3NA SIL物鏡是定製設計的透鏡家族中的新国产欧美在线，經過優(you) 化，可在整個(ge) 視場上提供卓越的衍射限製成像。自對準SIL尖端可自動調平，以符合被測設備的局部輪廓。獨特的尖端彎曲設計提供了低的接觸力，因此適用於(yu) 成像安裝器件或裸晶圓。
集成輪廓傳(chuan) 感器，測量器件表麵輪廓，高度分辨率優(you) 於(yu) 10 um。使用與(yu) 精密x-y-z平台集成的尖端傾(qing) 斜台，可以直接測量和補償(chang) 從(cong) 翻轉邊緣或器件彎曲產(chan) 生的局部表麵傾(qing) 斜。跟自對準SIL尖端相結合，以實現安全可靠的SIL成像。
擴展波長PEM成像通常是熱背景噪聲受限的。IREM-IV提供兩(liang) 個(ge) 內(nei) 部冷卻的濾光輪，因此光譜濾光器或背景限製孔徑適用於(yu) 任何測量場景。
紅外輻射顯微成像係統（微觀溫度分布成像）指標參數：
相機 運動係統
● 1016×1016 液氮製冷MCT陣列 ● 25nm分辨率
● 像元尺寸 18um ● 100mm運動範圍 （X-Y-Z）
● 400-2500nm 光譜響應範圍 ● 阻尼振動隔離
● 6個(ge) 位置自動物鏡轉盤 ● 電動樣品尖端傾(qing) 斜選項
● 6個(ge) 位置製冷濾光片/孔徑轉輪
● 大於(yu) 20小時液氮維持時間
係統尺寸
● 顯微鏡 810mm x 876mm x 813mm， 160kg
● 控製係統 610mm x 1283mm x 762mm，90kg
物鏡選項：
參考圖例
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