點衍射激光幹涉儀(yi) -大口徑（≥700mm）高精度（≤0.6nm RMS）無出口限製皮米級精度激光幹涉儀(yi) 相位偏折術/相位偏折測量係統λ/1000超高精度激光幹涉儀(yi) !納米表麵輪廓儀(yi) 高分辨率激光幹涉儀(yi) 馬赫增德爾/邁克爾遜光纖幹涉儀(yi) 白光幹涉顯微鏡及物鏡——三豐(feng) MitutoyoKaleo MultiWAVE多波長動態幹涉儀(yi) 皮米級絕對距離測量幹涉儀(yi) 通用光學測量儀(yi) ——波前/傾(qing) 角/輪廓測量三合一
納米表麵輪廓儀(yi)
IMOS納米表麵輪廓儀(yi) 實現了精確、定量、iso兼容、非接觸式表麵測量和表征微和納米尺度的表麵特征，在短短幾秒鍾內(nei) 可捕獲多達200萬(wan) 個(ge) 數據點。選擇正確的光學輪廓儀(yi) 係統取決(jue) 於(yu) 您的国产成人在线观看免费网站程序的要求，包括速度、精度、垂直範圍、自動化和靈活性。
IMOS光學表麵輪廓儀(yi) 在非接觸式光學表麵輪廓方麵提供了強大的通用性。有了該係統，它可以方便快捷地測量各種表麵類型，包括光滑、粗糙、平坦、傾(qing) 斜和階梯。所有的測量都是無損的，快速的，不需要特殊的樣品準備。納米表麵輪廓儀(yi) 係統的核心是部分相幹光幹涉技術，它提供亞(ya) 納米精度測量更廣泛的表麵比其他商業(ye) 可用技術。
IMOS 納米表麵輪廓儀(yi) 提供了不同的国产成人在线观看免费网站程序的特殊價(jia) 值，如平直，粗糙度，波浪形，台階高度等等。
IMOS 納米表麵輪廓儀(yi) 配備了一個(ge) 變焦頭，可以填充離散變焦光學定製的係統。樣本分段配置範圍從(cong) 完全自動化到完全自動化的編碼行程。
IMOS 納米表麵輪廓儀(yi) 提供高精度測量，易於(yu) 使用，快速測量，及極具吸引力的價(jia) 格，使其成為(wei) 多功能3D光學輪廓儀(yi) 的理想選擇。
主要優(you) 點:
納米模式下的Z軸分辨率:
~ 30pm微起伏模式(使用原子級光滑鏡)
~ 0.3um微地貌模式下
外形緊湊;
快速響應;
抗外部振動;
測量過程自動化程度高;
特殊的用戶友好的界麵;
高質量的圖形界麵，以工作與(yu) 多計劃三維表示的測量結果;
廣泛的可能性配置的顯微鏡，以各種形態-邏輯的測量表麵;
能夠工作在兩(liang) 種模式:微浮雕和納米浮雕;
獨特的存儲(chu) 係統和測量結果的係統化。
在矽基板上的Pd薄膜，高度100nm矽晶體(ti) 表麵的階地，高度為(wei) 0.314nm在矽基板上的Pd薄膜，高度100nm
微起伏模式下的測量結果 | IMOS納米表麵輪廓儀組成 |
 | 光電探測器* 矩形ccd-1392*1040 px |
| 光源 * LED (λeff = 630 nm) | |
| 顯微物鏡* 20x (or 10x, 5x) 2 items 放大率不變 | |
 | 壓電掃描振鏡 |
位移台
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控製器
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| 矽晶體表麵的階地，高度為0.314nm | |
 | 計算機 |
軟件
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| 認證口徑，標稱高度值為101nm±3% | * – 按客戶需求 |
微地貌模式下的測量結果 | 技術指標 |
 | 測量區域 0,4x0,3 mm2 (for 20X) |
| 像素尺寸 0,3 μm (for 20X) | |
| 橫向分辨率 Not worse 1 μm | |
測量模式
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| 認證口徑, 厚 40 ± 1,2 μm | |
 | Z軸分辨率
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測量範圍
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測量速度
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| 衍射元件, 厚 3,7 μm | |
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