SEM高速刻蝕子係統
XENOS刻寫(xie) 子係統是一種允許設計圖案數據並產(chan) 生用於(yu) 帶電粒子束（例如用於(yu) 半導體(ti) 光刻国产成人在线观看免费网站或聚焦離子束係統的電子束）轉向的相應偏轉信號的係統。可以連接到傳(chuan) 統的掃描電子顯微鏡、FIB或雙光設備上，升級係統，在半導體(ti) 或其他材料上進行納米光刻。
高速刻寫(xie)
可以實現高達40MHz的像素速率。由於(yu) 采用了智能寫(xie) 入算法，可以考慮當前SEM的有限偏轉帶寬。優(you) 化的數據傳(chuan) 輸和穩定時間計算與(yu) 高寫(xie) 入速度相匹配，以提供快速寫(xie) 入的所有優(you) 點。
智能且通用的格式
使用三階多項式掃描邏輯，可以僅(jin) 基於(yu) 硬件以Max速度生成和寫(xie) 入這些多項式。因此，圓形、環形或橢球體(ti) 可以由同心的單像素環書(shu) 寫(xie) ，通常在曝光過程中不需要消隱。並且，可以用Min的數據開銷和傳(chuan) 輸時間來實現理想的寫(xie) 入速度和近似質量。此外，與(yu) 結構的多邊形部分的光柵掃描相比，偏轉信號的正弦形狀消耗的偏轉帶寬要小得多。同時，寫(xie) 入算法對稱地使用X軸和Y軸的帶寬。
高靈活性
模塊化係統可以進行配置，以完全滿足您的需求。邏輯配置和DSP內(nei) 核可以在幾分鍾內(nei) 更新，以提供新功能。
配置高，国产成人在线观看免费网站界麵友好
完整的偏轉信號生成是在每軸16/32位的可編程邏輯器件中實現的。特別是場校正不使用帶寬限製的乘法模擬DAC，而是完全數字構建的，工作到Max寫(xie) 入速度，而在產(chan) 生的偏轉信號中沒有任何失真。
控製軟件ECP基於(yu) Linux或Windows使用，CAD部分可在工作組中自由使用。
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