超精密光學應力測量設備-硫係玻璃及Si,SiC,GaN等應力測量二維應力成像儀(yi) 衝(chong) 壓應變分析儀(yi) AutoGrid®comsmartHinds液晶麵板應力分布測量係統非球麵透鏡應力雙折射測量係統光彈性係數測量儀(yi) 光伏矽錠應力測量儀(yi)
150AT全自動應力雙折射測量係統
科研級高精度應力測量係統
150AT 應力雙折射係統是Hinds應力雙折射測量係統家族係列国产欧美在线。該應力雙折射測量係統既可作為(wei) 實驗室科研探索測量光學組件應力分布測量，也可用作諸如玻璃麵板，透鏡，晶體(ti) ，單晶矽/多晶矽、注塑成品等工業(ye) 生產(chan) 中檢測国产欧美在线應力分布。尤其是對硫係玻璃及Si,SiC,GaN等第三代半導體(ti) 測量有著特別優(you) 勢。
国产欧美在线軟件直觀顯示待測樣品應力情況，便於(yu) 操作和日常監測。
150AT 應力雙折射係統可以根據客戶需求選擇設置，使得測量更有針對性（高精度/大範圍相位延遲量），係統有著極高測量速度的同時也具有極高的測量分辨能力（<1 mm grid spacing ），150AT應力雙折射係統也提供傾(qing) 斜位移平台等設計來幫助客戶完成一些非常規掃描/測量需求。
国产欧美在线特點
自動X/Y位移平台掃描
二維/三維圖形/參數表格顯示樣品應力分布測量結果
台式整機設計組裝
靈活位移平台設計，滿足個(ge) 性化定製需求
強大數據擬合分析功能和友好用戶界麵
參數
高精度測量係統選項 | 大範圍相位延遲量測量選項 | |
相位延遲量範圍: | 0.005 to 120+ nm | 0.005 to 300+ nm |
相位延遲量測量分辨率/ | 0.001 nm / ± 0.008 nm | 0.0 1 nm / ± 0.015 nm |
角度測量分辨率 / | 0.01º / ± 0.05° | 0.01º / ± 0.07° |
測量速率 / 時間4: | up to 100 pps / | |
尺寸: | 910 mm (H) x 415 mm (W) x 700 mm (D) | |
光源波長5: | Various (632.8 nm standard) | |
測量光斑6: | Between 1 mm and 3 mm native | |
內(nei) 置測量調製頻率: | PEMLabsTM Photoelastic Modulator | |
解調分析技術: | Hinds Instruments SignalocTM | |
測量單位: | nm (retardation), ° (angle) |
1 Typical performance at 5 nm retardation
2 Up to 0.8 nm, 1% thereafter
3 Up to 1.5 nm, 1% thereafter
4 Maximum data collection speed. Sample XY scan time dependent on stage movement parameters.
5 Custom wavelengths available
6spot sizes of less that 1 mm native require optional high resolution detector module
選項:
* Additional Polarization Parameters
* 超高速掃描選項
* 光譜掃描測量和RGB測量
* 客戶定製內(nei) 置波長選項（紫外/紅外）
* 手動/自動傾(qing) 斜位移平台裝置
* 定製樣品平台加持誰記
* 定製化顯示界麵 (UI or DLL)
* 應力計算評估軟件
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