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應力測量係統

非球麵透鏡應力雙折射測量係統

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不規則非球麵光學元件應力分布測量係統(光刻機透鏡測量等)

所屬類別:光學檢測設備 » 應力測量係統

所屬品牌:美國Hinds Instruments国产黄色在线观看

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不規則非球麵光學元件應力分布測量係統

光刻機透鏡測量等)

不規則非球麵光學元件(光刻機透鏡等)應力分布測量係統


利用光彈調製器技術,Hinds 国产黄色在线观看的應力雙折射測量係統可以在深紫外(193nm)波段進行應力雙折射探測。針對特定材料製作(氟化鈣)和特定形狀(非球麵透鏡)有著獨特的技術解決(jue) 方案。


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Hinds 国产黄色在线观看的不規則非球麵光學元件應力分布測量係統(應力雙折射測量係統)通過對光的調製解調可以測出待測光學元件中的雙折射大小和方向,這些數據同時也表示了應力的大小和方向。Hinds 国产黄色在线观看這套不規則非球麵光學元件應力分布測量係統獨創的傾(qing) 斜,多角度入射掃描技術可以保證對非球麵不規則的光學元件(光刻機透鏡等)有著完美的掃描測量解決(jue) 方案。



国产欧美在线特點:
1. 全套內(nei) 置軟件自動掃描成圖
2. 非球麵掃描(手動宏程序)
3. 應力大小及方向分布探測成圖
4. 定製各種尺寸形狀樣品台
5. 探測強度:皮瓦


国产欧美在线參數:
1. 可見光波段探測延遲範圍:0 to 300+nm
2. 深紫外波段探測延遲範圍:0 to 90+nm
3. 可見光波段應力探測精度:0.001nm / ±0.03 (up to 3nm, 1% thereafter)
4. 深紫外波段應力探測精度:0.001nm / ± 0.08 nm (up to 4nm, 2% thereafter)




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