橢偏成像技術（八）橢偏成像技術的未來展望

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橢偏成像技術（八）橢偏成像技術的未來展望

橢偏成像測量技術迄今發展僅(jin) 二十幾年，仍然是一個(ge) 新興(xing) 的領域，有著廣闊的前景和巨大的發展空間。橢偏測量具有非接觸性、非破壞性、測量精度高和適於(yu) 測量較薄膜層的特點, 成為(wei) 了半導體(ti) 業(ye) 常用的薄膜測量工具。由於(yu) 半導體(ti) 製造業(ye) 在器件關(guan) 鍵尺寸上的測量要求越來越精確, 薄膜常用材料日益多樣化, 薄膜的結構越來越複雜, 需要進一步改進橢偏儀(yi) 。主要的發展趨勢可以分為(wei) 如下幾個(ge) 方麵。

1） 光譜橢偏成像技術發展至今可以實現200-1000 nm波段的測量，在對納米結構的測量與(yu) 表征中，可能需要獲得更短波段的偏振信息，從(cong) 而達到更高的橫向分辨率，以分析樣品的特性。實現橢偏成像技術對更寬波段的測量是重要研究方向。比如尋找較高強度的紅外光源, 拓寬橢偏儀(yi) 的光譜範圍, 以準確確定異質結構的多層膜結構;

2）在醫學方麵的国产成人在线观看免费网站中，橢偏成像技術可以和很多生物技術相結合，實現各個(ge) 層麵的国产成人在线观看免费网站。例如與(yu) 人工智能技術相結合實時監測病人身體(ti) 的癌細胞，及時做出反應，配合醫生對患者進行康複治療；

3）將橢偏成像技術的zui新發展實用化，研製可用於(yu) 工業(ye) 生產(chan) 過程中使用的成像橢偏儀(yi) ，在半導體(ti) 、微電子等国产欧美在线的生產(chan) 過程中實現實時監測；

4）通過解決(jue) 圖像傳(chuan) 感器的低頻響應和降低係統噪聲來減小圖像采集的誤差；

5）建立包含成像橢偏儀(yi) 的校準因素的係統模型, 以減小成像橢偏儀(yi) 的測量誤差;

6）對半導體(ti) 工業(ye) 常用薄膜材料建立準確的物理模型, 以減小係統的計算誤差;

7）引入能夠同步進行數據獲取和數據處理的控製係統, 並利用優(you) 化算法, 較快得出薄膜係統待求參量, 以提高橢偏儀(yi) 的測量速度, 增強橢偏儀(yi) 的在線檢測和控製功能。

橢偏成像技術保持了傳(chuan) 統橢偏測量術非接觸式測量、對樣品無損害的優(you) 點，並在測量上彌補了傳(chuan) 統橢偏測量技術的不足，具有以下優(you) 點：測量精度高，不僅(jin) 可達到原子層量級的縱向靈敏度，還具有可達光學衍射極限的橫向分辨能力，可以對精細橫向微結構的納米層狀樣品進行全表麵測量；非苛刻性，對待測樣品限製少，可以實現多樣品測量；結果直觀，通過ccd成像，可以直觀地看到樣品形貌，排除測量中的偽(wei) 信號，從(cong) 而使測量更加準確。現在的橢偏成像技術在波長範圍、測量麵積、精確度、測量速度等方麵得到很大程度的改進，可以獲得樣品包含整個(ge) 視場的大麵積區域內(nei) 的測量信息，實時觀測樣品的狀態，實現大視場寬光譜測量，在納米薄膜、生物醫學等方麵具有極大的国产成人在线观看免费网站價(jia) 值。 

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相關(guan) 文獻：

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