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高精度納米級壓電位移平台“PIEZOCONCEPT”!--半導體界後摩爾時代的手術刀。

發布時間:2024-01-19 14:07:27 瀏覽量:2208 作者:Mario

摘要

昊量光電推出“PIEZOCONCEPT”国产黄色在线观看高精度單軸、雙軸、三軸納米級位移壓電位移台、物鏡掃描台、快反鏡係列国产欧美在线;該壓電平台以壓電陶瓷為(wei) 驅動,采用了柔性鉸鏈連接的方法,具備精確導向性、高穩定性、高抗疲勞性的特點,同時搭配高精度矽基位移傳(chuan) 感器、16Bit高分辨率高速控製器,具有高響應速度,亞(ya) 納米級的分辨率,超低底噪(10-50pm)和超高線性度(0.02%),廣泛国产成人在线观看免费网站於(yu) 高精密位移方向,包括但不局限於(yu) 半導體(ti) 領域;該係列国产欧美在线包括X軸、Z軸單軸位移平台,XY軸雙軸、XYZ軸三軸位移平台、FOC係列物鏡掃描台,一維、二維快反鏡。

正文


高精度納米級壓電位移平台“PIEZOCONCEPT”!
--半導體(ti) 界後摩爾時代的手術刀。


第三代半導體(ti) 是後摩爾時代實現芯片性能突破的核心技術之一,優(you) 越性能和廣泛的下遊国产成人在线观看免费网站使相關(guan) 廠商存在良好發展前。隨著下遊終端需求改善,下遊結構升級及國產(chan) 替代是半導體(ti) 界發展的趨勢。然而運動控製核心部件對於(yu) 眾(zhong) 多產(chan) 業(ye) 布局,往往起到了關(guan) 鍵性作用;高精度納米級壓電位移平台,仍然是眾(zhong) 多企業(ye) 亟不可待的關(guan) 鍵国产欧美在线。


昊量光電推出“PIEZOCONCEPT”国产黄色在线观看高精度納米級壓電位移平台係列国产欧美在线,它的国产欧美在线猶如一把手術刀,具備精確、鋒利、專(zhuan) 業(ye) 、值得信任的特點;它代表著高精度、高穩定性、高響應速度、高抗疲勞性。


下麵對“PIEZOCONCEPT”国产欧美在线進行詳細的介紹:


1.PIEZOCONCEPT單軸位移平台


PIEZOCONCEPT單軸位移平台国产欧美在线是可以在單個(ge) 維度上提供精確定位的国产欧美在线,主要包含X軸壓電平台、Z軸壓電平台、物鏡掃描台、快速反射鏡。


X軸国产欧美在线圖片


Z軸国产欧美在线圖片


一維掃描平台


一維快反鏡


2.PIEZOCONCEPT兩(liang) 軸位移平台


兩(liang) 軸壓電平台可以提供兩(liang) 個(ge) 維度上的平移或偏轉,主要包括XY二維壓電納米位移台和二維快反鏡。


XY軸壓電平台


二維快反鏡


3.PIEZOCONCEPT三軸位移平台


XYZ軸壓電平台


4. PIEZOCONCEPT位移台獨特優(you) 勢


昊量光電推出“PIEZOCONCEPT”高精度單軸、雙軸、三軸納米級壓電位移台、物鏡掃描台、快反鏡係列国产欧美在线;該壓電平台以壓電陶瓷為(wei) 驅動,采用了柔性鉸鏈連接的方法,具備精確導向性、高穩定性、高抗疲勞性的特點,同時搭配高精度矽基位移傳(chuan) 感器、16Bit高分辨率高速控製器,具有高響應速度,亞(ya) 納米級的分辨率,超低底噪(10-50pm)和超高線性度(0.02%),廣泛国产成人在线观看免费网站於(yu) 高精密位移領域,包括但不局限於(yu) 半導體(ti) 領域。


功能的獨特優(you) 勢包括:

亞(ya) 微米級別的重複定位精度

穩定性遠遠優(you) 於(yu) 同類国产欧美在线

0-1500微米級的移動範圍


傳(chuan) 統壓電位移台的特點

PIEZOCONCEPT壓電位移台優(you) 勢

-分辨率的局限

高分辨率:0.005nm/urad(Max)

-有限的運動軌跡範圍,平均0-300um移動範圍

0-1500um移動範圍

-較低線性度

超高線性度(0.02%)

-位移傳(chuan) 感器存在差異(以電容傳(chuan) 感器為(wei) 主),鉸鏈存在無效運動

采用高精度矽基位移傳(chuan) 感器與(yu) 柔性鉸鏈具備高可靠、長壽命

 

-較高的底噪

 

 

超低底噪(10-50pm)

 

-速度的局限

 

超高速:諧振頻率7000Hz(Max)



5.PIEZOCONCEPT使用什麽(me) 類型的傳(chuan) 感器?為(wei) 什麽(me) 它優(you) 於(yu) 其他傳(chuan) 感器技術?


PIEZOCONCEPT使用單晶矽傳(chuan) 感器,稱為(wei) 矽基位移傳(chuan) 感器。盡管它是應變傳(chuan) 感器大家族的一部分,但它優(you) 於(yu) 其他兩(liang) 種常用傳(chuan) 感器(電容式傳(chuan) 感器和金屬應變傳(chuan) 感器)。這兩(liang) 種傳(chuan) 感器與(yu) PIEZOCONCEPT單晶矽傳(chuan) 感器相比都有明顯的缺點。


電容式傳(chuan) 感器與(yu) PIEZOCONCEPT矽基位移傳(chuan) 感器相比,對以下方麵很敏感:

•氣壓變化:空氣的介電常數取決(jue) 於(yu) 氣壓。測量將受到任何壓力變化的影響。

•溫度變化:空氣的介電常數也會(hui) 隨溫度變化。

•汙染物的存在。


以上所有這些都會(hui) 導致納米級的一些不穩定性,即使可以對空氣壓力和溫度進行校正,也不可能校正其它因素(汙染物、排氣)的影響。這解釋了電容式傳(chuan) 感器在真空環境中性能不佳的原因。此外,電容傳(chuan) 感器非常昂貴和笨重。矽HR傳(chuan) 感器技術是一種固態技術,它的電阻不依賴於(yu) 空氣壓力或汙染物的存在。其次,雖然溫度變化對測量有影響(主要是因為(wei) 材料的熱膨脹),但這可以通過使用傳(chuan) 感器陣列進行校正。基本上,PIEZOCONCEPT在每個(ge) 軸上使用兩(liang) 個(ge) 平行的矽傳(chuan) 感器,一個(ge) 用於(yu) 測量,另一個(ge) 用於(yu) 考慮溫度變化引起的材料膨脹。


6.金屬應變傳(chuan) 感器與(yu) PIEZOCONCEPT矽基位移傳(chuan) 感器的比較。


金屬應變傳(chuan) 感器和PIEZOCONCEPT矽基位移傳(chuan) 感器之間的差異更大。


第1個(ge) 區別是應變係數:半導體(ti) 應變傳(chuan) 感器(矽基位移傳(chuan) 感器)的應變係數大約是金屬應變傳(chuan) 感器的100倍。更高的應變係數導致更高的信噪比,zui終導致更高穩定性。


第2個(ge) 區別是金屬應變傳(chuan) 感器不能直接安裝在撓曲裝置上(也就是實現運動的地方):金屬應變傳(chuan) 感器必須安裝在某種“背襯”上,這就導致了壓電致動器存在蠕變或滯後現象。由於(yu) 壓電致動器的膨脹不均勻,因此僅(jin) 測量致動器的一部分伸長率無法精確推導其完整伸長率。矽基位移傳(chuan) 感器是通過對撓曲本身進行測量,不存在這種“不均勻性”問題。


綜上所述,矽基位移傳(chuan) 感器在環境背景中優(you) 於(yu) 電容式傳(chuan) 感器,在信噪比和穩定性方麵優(you) 於(yu) 金屬應變傳(chuan) 感器。


關(guan) 於(yu) 生產(chan) 商:

法國PIEZOCONCEPT壓電納米平移台

PIEZOCONCEPT是納米壓電位移平台的供應商,国产欧美在线国产成人在线观看免费网站包括但不限於(yu) 超分辨率顯微鏡、光學捕獲原子力顯微鏡。国产欧美在线已被各國高校和從(cong) 事前沿研究的科學家使用。

多年來,電容式傳(chuan) 感器一直占據著市場主導地位。不幸的是,這項技術顯示出了一些局限性。為(wei) 了滿足現代顯微鏡技術對分辨率的更高要求,PIEZOCONCEPT自行創建了一種實現更大穩定性和線性度的新方法。

PIEZOCONCEPT的目標是找到一個(ge) 優(you) 雅、經濟高效的解決(jue) 方案,以提供準確和穩定的定位。其開發了一係列超穩定納米位移平台,用於(yu) 多種国产成人在线观看免费网站,與(yu) 市場上已有的国产欧美在线相比具有顯著優(you) 勢。它的矽基傳(chuan) 感器技術提供了這樣的優(you) 勢,該技術優(you) 於(yu) 電容傳(chuan) 感器與(yu) 金屬傳(chuan) 感器。通過簡單而高效的柔性設計和超低噪聲電子器件,PIEZOCONCEPT的壓電平台提供皮米級穩定性和亞(ya) 納米級(或亞(ya) 納米弧度)噪聲基底。


上海昊量光電作為(wei) PIEZOCONCEPT在中國大陸地區du家代理商,為(wei) 您提供專(zhuan) 業(ye) 的選型以及技術服務。對於(yu) PIEZOCONCEPT国产欧美在线有興(xing) 趣或者任何問題,都歡迎通過電話、電子郵件或者微信與(yu) 我們(men) 聯係。


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