大角度閉環微型振鏡快速反射鏡/快速傾(qing) 斜鏡MEMS掃描鏡激光光束指向穩定係統激光束自動準直穩定係統MEMS掃描鏡開發套件智能多邊形掃描儀(yi) （多麵轉鏡）一維/二維無串擾大負載壓電快速偏擺台
無萬(wan) 向節MEMS掃描鏡
光學掃描鏡是一種矢量掃描設備，能使入射光束按照特定的方式與(yu) 時間順序發生反射，從(cong) 而在像麵上實現掃描成像.傳(chuan) 統的光學掃描鏡體(ti) 積大、成本高，且多為(wei) 散裝，大大限製了其国产成人在线观看免费网站。相較於(yu) 傳(chuan) 統的掃描鏡，MEMS掃描鏡具有尺寸小、成本低、掃描頻率高、響應速度快和功耗低等優(you) 點，以被廣泛的国产成人在线观看免费网站在光通信、掃描成像、激光雷達、內(nei) 窺鏡、3D掃描成像等領域。
按照掃描維度不同，MEMS掃描鏡可以分為(wei) 一維掃描鏡和二維掃描鏡，一維掃描鏡是指在鏡麵在一個(ge) 維度內(nei) 偏轉，二維掃描鏡是指沿著兩(liang) 個(ge) 方向同時對光束進行調節。實現二維掃描，可以選用兩(liang) 個(ge) 一維的掃描鏡，也可以選用兩(liang) 個(ge) 一個(ge) 二維的掃描鏡。相比較而言二維掃描鏡功能更強大，但是結構也更複雜，控製的難度也就越大。
按照驅動方式的不同，MEMS掃描鏡可以分為(wei) 靜電驅動、電磁驅動、壓電驅動和電熱驅動四種驅動方式。電熱驅動是，利用電能轉換為(wei) 熱能，再轉換為(wei) 機械能驅動，其優(you) 點是驅動力和驅動位移較大，但是響應速度較慢。壓電驅動是利用壓電材料的壓電效應實現驅動，具有驅動力大、響應速度快等優(you) 點，但是壓電材料存在遲滯現象。電磁驅動是利用電磁或者永磁體(ti) 實現驅動，具有較大的驅動力力和驅動位移，但是響應速度偏慢，且容易受到電磁幹擾。靜電驅動是利用帶電導體(ti) 間的靜電作用力實現驅動，具有功耗低、速度快、兼容性好等優(you) 點。是目前使用廣泛的驅動方式。
下圖給出了各種驅動方式的性能對比：
驅動方式 | 速度 | 力 | 幅度 | 電壓 |
壓電驅動 | 快 | 大 | 小 | 高 |
電磁驅動 | 慢 | 大 | 大 | 低 |
熱驅動 | 慢 | 大 | 大 | 較低 |
靜電驅動 | 快 | 小 | 較小 | 高 |
上海昊量光電推出的MEMS掃描鏡全部由單晶矽製成，也就是說這種設計使運動部件不包括任何易出故障的部件，例如，金屬、聚合物、壓電材料等。使其擁有卓越的重複性和可靠性。采用無萬(wan) 向節設計，使大鏡麵尺寸和大角度偏轉的MEMS微振鏡擁有更高的速度。靜電驅動的MEMS掃描微振鏡兩(liang) 個(ge) 軸的偏轉角度可達到32°，在滿振幅運轉功耗僅(jin) 為(wei) 幾毫瓦。目前靜電驅動的微振鏡可提供的一維和二維的MEMS掃描鏡，可提供直徑從(cong) 0.8mm到5mm微型振鏡。
該款微振鏡針對對點對點（受迫振動）光束掃描進行了特殊設計及優(you) 化。該MEMS掃描鏡采用靜電驅動且選用整個(ge) 單晶矽製備而成，因此使得驅動電壓和偏轉角度之間存在良好的一一對應的關(guan) 係，並且有著可重複性，而且隨著使用時間的推移依然保持著極高的性能。對於(yu) 開環的微振鏡，致動器在每個(ge) 軸上至少有14Bits（約16384個(ge) 位置），因此當機械偏轉角度為(wei) -5°到+5°是，角度的分辨率可達到10微弧度。
在整片的單晶矽上采用無萬(wan) 向節設計和獨特的多級懸梁製造工藝製作一個(ge) 完整的微鏡促動器。其中采用無萬(wan) 向節設計可以使微鏡在成像或光束偏轉時可以在兩(liang) 個(ge) 軸上達到同樣的高速度。一個(ge) 普通的擁有0.8mm直徑的微鏡，當機械偏角為(wei) -6°到+6°時，非諧振偏轉速度超過1000rad/s，諧振頻率更是達到3.6KHz。
與(yu) 常規的MEMS掃描鏡不同的是，該微型振鏡可以在多個(ge) 模式下工作，即點對點模式（受迫振動）、混合模式和諧振模式。如下圖所示：
a)這種模式可稱為(wei) 點對點模式，或者是靜態模式。在這種情況下兩(liang) 個(ge) 軸利用設備操作的寬帶寬從(cong) 直流到某個(ge) 頻率，並且不允許諧振。因此鏡子可以保持在某一位置，或者以勻速運動或執行矢量圖形等。
b）第二種模式為(wei) 混合模式，即其中一個(ge) 軸處於(yu) 準靜態模式，另外一個(ge) 軸處於(yu) 諧振模式
c）第三種模式為(wei) 諧振模式，這時兩(liang) 個(ge) 軸利用狹窄高增益共振來獲得較大的偏角較低的電壓以及較高的速度。設計用於(yu) 點對點模式的設備，在接近共振或共振時倍驅動，很容易超過安全偏轉角而損壞。因此需要使用小的正弦驅動電壓驅動接近諧振工作模式，並且仔細的尋找所需要的工作點和角度，以便不超過給定的機械偏角限製。
可提供的国产欧美在线如下：
1）開發套件（Development Kits）
開發套件是為(wei) 了方便客戶更快速而有效的了解設備的性能、用途及使用方法。它可以通過專(zhuan) 門開發的軟件及驅動器安全的使設備運轉。
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 | 標準開發套件：[可按需求刪減其中配件] 該套件包含以下部分 1） 三個(ge) 二維掃描鏡；1.2mm 偏角±5°；2.0mm 偏角±5°; 3.6mm偏角±5.5 2）USB控製器 3）軟件及C++; LabVIEW；Matlab SDK 4）激光和光學麵包板，包含635nm 5W激光器、光學麵包板等 |
 | 半定製開發套件： 該套件可自主選擇套件中鏡子的尺寸及偏角；其餘(yu) 配件與(yu) 標準開發套件相同 |
 | 包含掃描模塊的開發套件： 1） 掃描模塊： 該套件掃描模塊隻包含一個(ge) 1.2mm的鏡子，該鏡子與(yu) 635nm激光器廣角透鏡預裝到一個(ge) 模塊中，掃描角度可達±20° 2） USB控製器 3）軟件及C++; LabVIEW；Matlab SDK |
| 激光雷達開發套件I： 1） 三個(ge) 鍍金膜二維掃描鏡；2個(ge) 4.6mm，偏角±5°；1個(ge) 5mm，偏角±5° 2）USB控製器 3）軟件及C++; LabVIEW；Matlab SDK 4）激光和光學麵包板，包含635nm 5W激光器、光學麵包板等 |
 | 激光雷達開發套件II 1） 四個(ge) 二維掃描鏡；2個(ge) 2mm，偏角±4.8°；2個(ge) 2.4mm±5° 2）USB控製器 3）軟件及C++; LabVIEW；Matlab SDK 4）激光和光學麵包板，包含635nm 5W激光器、光學麵包板等 |
2）演示套件（Demonstrator Kits）
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 | 激光跟蹤及MEM微鏡演示套件；套件包含以下国产欧美在线 1）掃描模塊；該模塊將1.2mm的鏡子與(yu) 3-10mW綠光激光器廣角透鏡預裝到一個(ge) 模塊中，掃描角度可達±20° 2）光電傳(chuan) 感器，包含濾光片、60°FOV和電纜 3）USB控製器 4）軟件及C++; LabVIEW；Matlab SDK |
 | 激光掃描和相機感知演示套件；套件包含以下国产欧美在线 1）掃描模塊；該模塊將1.2mm的鏡子與(yu) 3-10mW綠光激光器激光器廣角透鏡預裝到一個(ge) 模塊中，掃描角度可達±20° 2）USB 3.0 相機包含 6mm鏡頭 (~45°x 34.5° FoV) 720x540 像素；>500 fps 3）相機及掃描模塊機械裝配件 4）USB控製器 5）軟件及C++; LabVIEW；Matlab SDK+相機感知API 6）專(zhuan) 為(wei) 該套件開發的軟件示例 |
 | 3D掃描演示套件；該套件包含以下国产欧美在线 1） 掃描模塊；該模塊將1.2mm的鏡子與(yu) 3-10mW紅色激光器激光器廣角透鏡預裝到一個(ge) 模塊中，掃描角度可達±20° 2） USB3.0 相機包含8mm鏡頭（~34.5°x 26.2° FoV） 720x540 像素；>500 fps 3） 相機及掃描模塊機械裝配件 4） USB控製器 5） 軟件及C++; LabVIEW；Matlab SDK+相機感知API 6） 專(zhuan) 為(wei) 該套件開發的軟件示例 |
| MEMS掃描鏡3D激光雷達演示套件； 1）3D激光雷達 2）專(zhuan) 用軟件 3）附件包含1個(ge) USB數據線用於(yu) 數據傳(chuan) 輸和供電 |
| 視頻投影和成像演示套件；該套件包含 1） 兩(liang) 個(ge) MEMS模塊；MEMS1 – 0.9mm；MEMS2 – 3.2mm x 1.3mm 長鏡 2） 激光及鏡子線纜 3） 激光模塊（單波長激光）綠光 ~520nm, ~20-40mW；調製能力>100MHz；光斑直徑1mm 4） 控製器-基於(yu) FPGA的控製器及USB接口 5） 軟件 -基於(yu) MATLAB的GUI国产成人在线观看免费网站程序用於(yu) 掃描參數探究 -基於(yu) Windows的演示国产成人在线观看免费网站程序 |
3）MEMS掃描鏡
Integrate mirror
促動器名稱 | 機械偏角[°] | 鏡麵直徑[mm] | 數據單 |
| A3I8.2 | ±6 | 0.8 | 數據單1 |
A7M8.1 | ±4.75 | 0.8 | 數據單2 |
A7M10.2 | ±4.75 | 1.0 | 數據單3 |
A3I12.2 | ±5 | 1.2 | 數據單4 |
F1M16.1 | ±5 | 1.6 | 數據單5 |
A7M20.2 | ±4.8 | 2.0 | 數據單6 |
A5M24.2 | ±5 | 2.4 | 數據單7 |
Bonded Mirror
促動器名稱 | 機械偏角 | 鏡麵直徑（mm） | ||||||||
2.0 | 2.4 | 3.0 | 3.6 | 4.2 | 4.6 | 5.0 | 6.4 | 7.5 | ||
A7B1.1 | ±7 | 數據單8 | 數據單9 | 數據單 10 | 數據單11 | NR | NR | NR | NR | NR |
A7B2.1 | ±5.5 | NR | 數據單12 | 數據單 13 | 數據單14 | NR | NR | NR | NR | NR |
A8L2.2 | ±5 | NR | NR | 數據單 15 | 數據單16 | 數據單17 | 數據單18 | 數據單19 | NR | NR |
| A5L3.3(C2) | ±4.25 | 數據單20 | 數據單21 | 數據單22 | 數據單23 | 數據單24 | 數據單25 | 數據單26 | NR | NR |
A5L3.3(C1) | ±2.5 | 數據單27 | 數據單28 | 數據單29 | 數據單30 | 數據單31 | 數據單32 | 數據單33 | 數據單34 | NR |
| A5L2.2 | ±1 | 數據單35 | 數據單36 | 數據單 37 | 數據單38 | 數據單39 | 數據單40 | 數據單41 | 數據單42 | 數據單43 |
4）微鏡控製器
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| USB控製器， 該控製器裝配了一個(ge) 高速的集成芯片PIC32MZ MCU；它可以直接與(yu) 電腦連接，並使用我們(men) 的軟件運行MEMS掃描鏡，此外控製器可以作為(wei) 一些固定波形的存儲(chu) 區域，並以開環方式運行/輸出這些波形，以驅動MEMS反射鏡和外圍設備。該控製器由USB供電，功耗<1000mW。 |
| OEM模擬驅動板；
|
| OEM數字驅動板；
NOTE：對於(yu) 初次使用，不購買(mai) 套件的用戶，不提供該驅動板，隻提供模擬OEM板 |
MEMS掃描鏡主要特點：
l 大的鏡麵尺寸
l 大的光學偏角可達32°
l 重複精度可達到0.001°
l 可實現靜態掃描模式（受迫振動）
u 主要国产成人在线观看免费网站：
l 投影顯示裝置
l 掃描成像及激光雷達成像
l 3D跟蹤和位置測量
l 激光打標、雕刻
l 光束偏轉、掃描
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