德州儀(yi) 器（Ti）的空間光調製器芯片DMD（數字微鏡器件，所有基於(yu) DLP®的係統中的中央芯片）在過去5-7年中一直用於(yu) 多種無掩模光刻国产成人在线观看免费网站。通常，這些国产成人在线观看免费网站已被用於(yu) PCB光刻。 由於(yu) 器件在較短波長下的使用壽命有限，使用低於(yu) 320nm的照明的国产成人在线观看免费网站是不可行的。DMD處理的新進展大大改善了DMD的使用壽命。本文將介紹UV-A DMD無掩模光刻的背景，並演示新工藝在311nm和266nm處延長DMD的使用壽命。
基於(yu) DMD的320nm以下紫外光国产成人在线观看免费网站可靠性研究
許多大學、研究中心和終端設備製造商已經發表了多篇關(guan) 於(yu) 使用DMD的無掩模光刻的論文。利用DMD的生產(chan) 係統已經由多家原始設備製造商推出。 通常，這些工具選擇使用多個(ge) 中到高分辨率DMD以實現高數據吞吐量，並在365-410nm範圍內(nei) 工作。典型工作條件是在DMD上的3-5W / cm2 照明，溫度保持在30°C以下。 基於(yu) 這些條件，製造商已經能夠將DMD係統穩定運行。
設備在 UV-A 範圍內(nei) 的 3.4W/cm2 、25°C條件下始終表現出超過 3000 小時的運行時間。生產(chan) 合格的UV DMD中使用的標準UV窗口具有320-400nm的可用透射率區間。為(wei) 了在低於(yu) 此值的波長下測試和操作設備，需要一個(ge) 低於(yu) 320nm的高透射率的特殊窗口。
DMD是一種微光電機電器件（MOEM），是MEMS行業(ye) （微機電係統）的光學子集。該器件是一個(ge) 由多達280萬(wan) 個(ge) 扭轉鉸鏈安裝的微型反射鏡組成的陣列。來自鏡子下方記憶單元的靜電致動鏡子在扭轉鉸鏈上旋轉，使其傾(qing) 斜到“關(guan) 閉”或“打開”位置，水平方向+/-12度。大部分設備用於(yu) 三個(ge) 主要市場：數字影院（>90%的市場份額），前置投影係統（會(hui) 議室、家庭影院、教室等）和背投HDTV。該技術支持的国产欧美在线範圍包括250px3微投影模塊，現在嵌入到手機中，到劇院屏幕的40，000流明影院国产欧美在线，並且是較高質量要求国产成人在线观看免费网站的成像技術，包括奧斯卡頒獎典禮和2008年北京奧運會(hui) 開幕式/閉幕式。
DMD技術的主要優(you) 點包括高可靠性、高開關(guan) 速度以及具有大批量生產(chan) 能力的大型裝配工廠。迄今為(wei) 止，市場已售出超過2000萬(wan) 套基於(yu) DMD的係統。
標準 DMD 国产成人在线观看免费网站適用於(yu) 可見光波長，以及對設備上允許照射多少紫外光以達到較大使用壽命有指定的限製。此外DMD上的窗口具有針對可見光波長優(you) 化的抗反射塗層，透射率在380nm以下急劇下降。開發低至340nm的高透射率新窗口開放紫外線国产成人在线观看免费网站市場的機會(hui) 以DMD為(wei) 中心進行開發。操作超過3000小時始終如常工作。
采用基於(yu) DMD的UV係統的新興(xing) 行業(ye) 主要以無掩模光刻為(wei) 中心。通過並行使用多個(ge) 高分辨率 DMD 來實現高吞吐量，從(cong) 而實現降低成本和提高靈活性的目標。已經發布的無掩模係統與(yu) 傳(chuan) 統的基於(yu) 掩模的光刻係統的速度相比較，具有無需檢查、管理或維修光掩模的額外好處，並且能夠在數小時而不是數天內(nei) 將新設計轉變為(wei) 国产欧美在线 。
DMD通過能夠在較低波長下工作而增強了分辨較小特征和處理更高功率光的能力。請注意，以前用於(yu) UV-A国产欧美在线的窗口在266nm處不具有良好的透射率。已經製造了帶有適當防反射塗層的藍寶石或石英的特殊窗口。
UV-C波長（265nm）的測試在德克薩斯大學奧斯汀分校使用高功率飛秒脈衝(chong) 激光器進行。 每個(ge) 脈衝(chong) 的範圍為(wei) 2.1-3.5 mJ/cm2，並以每秒10個(ge) 脈衝(chong) 的速度循環。通過在時間零點進行反射功率測量並與(yu) 後續測量進行比較來評估器件的性能。測量設備的溫度為(wei) 37°C。
對設備的初始測試顯示，在300，000-500，000次照射中反射功率迅速下降降至初始功率的70%以下。在UT-Austin進行的測試是在相同的條件下進行的，但結果大不相同。圖5所示的初步測試結果如下，預計UV-C激光照射次數至少提高了10倍 。
這些非常初步的結果表明，在UV-C條件下工作時，DMD的使用壽命能力顯著提高。
總結
DMD在UV-A波長中的有用操作已經為(wei) 人所知並被利用了好幾年。由於(yu) 器件在266nm處的快速退化，因此無法在合理的使用壽命內(nei) 進行UV-C操作。根據早期的測試結果，工藝改進使UV-C操作的使用壽命縮短了一個(ge) 數量級。
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