點衍射幹涉儀(yi) （Point Diffraction Interferometer，PDI）是一種基於(yu) 衍射幹涉原理的光學測量設備。它利用激光束小孔後產(chan) 生接近理想的點光源對物體(ti) 表麵進行測量，可以實現對物體(ti) 形狀、表麵粗糙度、折射率等參數的高精度測量。點衍射幹涉儀(yi) 不需要標準參考件，可以用於(yu) 高精度麵型的檢測，是一種非常重要的高精度測量儀(yi) 器。
點衍射幹涉儀(yi) 的精度檢驗方法
點衍射幹涉儀(yi) （Point Diffraction interferometer，PDI）是一種基於(yu) 衍射幹涉原理的光學測量設備。它利用激光束小孔後產(chan) 生接近理想的點光源對物體(ti) 表麵進行測量，可以實現對物體(ti) 形狀、表麵粗糙度、折射率等參數的高精度測量。點衍射幹涉儀(yi) 不需要標準參考件，可以用於(yu) 高精度麵型的檢測，是一種非常重要的高精度測量儀(yi) 器。
1.1測試光路
測試係統主要由D7點衍射幹涉儀(yi) 主機，準直器，5mm口徑鋁鏡，光學平台等構成。
1.2 測試環境
溫度： 21℃±1℃；
濕度： 30%-70%
1.3 絕對精度檢測（Accuracy）
絕對精度的檢測采用波前均方根差（wavefront RMS differential ，WRMSD）的計算方法，WRMSD是幹涉儀(yi) 穩定性和測量有效性的嚴(yan) 格標準。它定義(yi) 為(wei) 所有測量波前差異的均方差加上2X均方差的測量集，並定義(yi) 為(wei) 所有測量波前的平均值的綜合參考。
測試步驟：
1） 測試部分從(cong) 0°開始繞光軸以45°步長旋轉8次進行測量。旋轉是必要的，以排除測量係統設置引起的所有旋轉不對稱像差。
2） 測試部分從(cong) 22.5°開始繞光軸以45°步長旋轉8次進行測量。
3） 在沒有平滑的情況下處理幹涉圖後，從(cong) 0°開始的8個(ge) 波前進行平均計算，得到平均波前WF0AVG_0，然後從(cong) 22.5°開始的8個(ge) 波前也進行平均計算，得到平均波前WF0AVG_225。
4） 計算WF0AVG_0和WF0AVG_225的差異，得到絕對精度。
上海昊量光電設備有限国产黄色在线观看銷售的點衍射幹涉儀(yi) ，型號D7在客戶（南方科技大學）現場進行了幹涉儀(yi) 精度的檢測，實驗測得該幹涉儀(yi) 的精度為(wei) 0.707nm RMS 。
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圖1 絕對精度檢測結果
1.4 重複精度檢測（Repeatability）
重複精度的檢測采用波前均方根差（wavefront RMS differential ，WRMSD）的計算方法。對如下圖2的波前進行重複性測量，共計測量30組，每組測量5次。選取1,3,5,7…29奇數組的數據進行平均，得到平均波前WF0AVG_29，選取2,4,6,8…30偶數組的數據進行平均，得到平均波前WF0AVG_30。計算WF0AVG_0和WF0AVG_225的差異，得到重複精度。
上海昊量光電設備有限国产黄色在线观看銷售的愛沙尼亞(ya) Difrotec国产黄色在线观看的點衍射幹涉儀(yi) 的重複精度，經過測量計算，重複精度為(wei) ：0.25nm RMS(λ/2500)，如下圖3。
圖2 鋁鏡麵型3D圖
圖3 重複精度檢測結果
1.5 幹涉儀(yi) 係統配置
D7：點衍射幹涉儀(yi) 主機；DA1：150mm/230mm準直器
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