對於(yu) 一台新的液晶空間光調製器，供應商出廠報告通常隻提供基本的理論參數，如波長範圍，尺寸大小，像素數，工作頻率，填充因子等，而並沒有給出某個(ge) 特定波長下的相位調製特性。因此對於(yu) 不同的激光波長需要對其相位調製性能進行測試和校準。
液晶空間光調製器常用的校準測量方式
不同的LCOS所能調製的範圍不同，因此在使用之前，需要對每個(ge) LCOS都進行調製性能的標定。主要測量方法有功率計探測法、馬赫—曾德幹涉方法、徑向剪切幹涉方法、泰曼格林幹涉方法、雙孔幹涉方法等。下麵簡單介紹幾種。
功率計直接探測法
圖1
功率計直接探測法的原理圖如圖1所示，激光經準直擴束後照射在非偏振分束片上，其中透射光經LCOS調製後反射，反射光經反射鏡反射後作為(wei) 參考光，與(yu) 待測的 LCOS調製後的光發生幹涉後被功率計接收，記錄光強的變化。測試方法非常簡單，但是由於(yu) 照射光不是嚴(yan) 格的平行光，幹涉後的光強較難保證完全均勻，導致測量結果精度不高，而且得到的相位調製特性結果為(wei) 整個(ge) LCOS液晶層表麵的平均結果，無法通過該方法得到液晶層特定表麵的調製結果。
馬赫-曾德幹涉方法
圖2
馬赫-曾德幹涉方法原理圖如圖2所示。激光經過第一個(ge) BS後將光分成兩(liang) 路，一路光由反射鏡反射到第二個(ge) BS，另一路光透過液晶空間光調製器發生調製後，與(yu) 參考光幹涉。得到的幹涉條紋的相對移動量即為(wei) 液晶空間光調製器的相位調製量。馬赫-曾德幹涉儀(yi) 通過計算幹涉圖的相對移動來得到液晶空間光調製器的相位調製情況。馬赫-曾德幹涉基於(yu) 幹涉原理進行測量，但是由於(yu) 裝置需要的參考光為(wei) 嚴(yan) 格的平麵波，對實驗裝置的穩定性要求較高，此外該方法適用於(yu) 測量透射式液晶空間光調製器。
徑向剪切幹涉方法
徑向剪切幹涉方法工作原理圖如圖3所示，該方法通過對液晶空間光調製器調製後的波麵與(yu) 本身錯位後放大和縮小的波麵產(chan) 生幹涉條紋，通過迭代算法分析得到幹涉條紋，以得到液晶空間光調製器的相位調製特性。
圖3
在剪切幹涉光路中，將放大的波麵作為(wei) 參考光，避免了引入額外參考光所帶來的誤差，保持了係統的穩定性，具有較高的精度。在記錄幹涉條紋的過程中， 針對整個(ge) 波麵進行記錄，隻需要一幅幹涉圖即可。但缺點是若放大的波麵畸變比較大時，將無法被視為(wei) 平麵波，幹涉條紋將較為(wei) 複雜，不利於(yu) 後續的實驗結果處理。
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許多用於(yu) 表征和校正像差的算法都基於(yu) Zernike多項式。然而，對圓形孔徑的依賴不適用於(yu) 描述正方形或矩形陣列的像差。美國Meadowlark Optics国产黄色在线观看已經開發了基於(yu) SLM的幹涉子孔徑的替代方案，以確保SLM的有效通關(guan) 區域上的像差可以被校正到λ/ 40或更好。如下圖所示， 矯正後的MLO空間光調製器波前像差（波前畸變）變得很低。
a）原始的1920 x 1200像素SLM波前（λ/ 7 RMS）（b）国产成人在线观看免费网站了像差校正的波前（λ/ 20 RMS）（c）未国产成人在线观看免费网站校正的像差曲麵圖。 （d）国产成人在线观看免费网站校正後的像差曲麵圖。
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