振幅型空間光調製器(超高分辨率微顯示器)是一種高反射率矽基鐵電液晶(FLCOS)器件,借助於(yu) 鐵電液晶材料的高速開關(guan) (<50 µs)特性, 使得可以通過高速空間光調製來實現無亞(ya) 像素 (no sub-pixels)、無空間RGB光束分離 (no spatial RGB beam separation)的灰度和彩色顯示。
矽基鐵電液晶(FLCOS)器件由兩(liang) 個(ge) 基板組成;第一個(ge) 是像素化的矽基cmos基板(背板),其分別作為(wei) 有源矩陣來驅動單個(ge) 像素和反射鏡; 第二個(ge) 是鍍有透明電極的玻璃基板。在背板和玻璃基板之間填充了鐵電液晶材料,其可在電場的驅動下實現對光的調製。