橢偏成像技術zui早出現於(yu) 20世紀80年代，由於(yu) 集成電路的特征尺寸越來越小，為(wei) 了實現對半導體(ti) 集成電路表麵的定量分析與(yu) 測量，人們(men) 首次將顯微成像掃描與(yu) 橢偏測量技術相結合。
橢偏成像技術（二）- 從(cong) 單波長橢偏成像到光譜橢偏成像
2001 年日本激光與(yu) 電子實驗室開發了一種彩色橢偏成像係統，利用白光源和一個(ge) 三色濾光片產(chan) 生三種波長的單色光，能夠在納米尺度上快速得到樣品的厚度和折射率的分布情況，橫向分辨率可 以達到10μm。該係統采用彩色ccd攝像機，將來自樣品表麵的反射光的每個(ge) 偏振轉換為(wei) 強度分布，該強度分布是膜厚度和折射率的函數；並且將強度 分布顯示為(wei) 顏色分布，當樣品的折射率均勻時，樣品的厚度變化就可以快速表現為(wei) 顏色的差異。該係統雖然利用不同濾光片產(chan) 生三種波長的單色光，可以進行三波長測量，但是無法得到樣品的寬光譜信息。
2004 年，法國的 Boher 等設計出一種光譜橢偏成像係統，采用白光源和四個(ge) 濾光片分別得到不同波長的單色光波，橫向空間分辨率也已經優(you) 於(yu) 10μm。
德國的Nanofilm国产黄色在线观看研製了一種通過更換濾光片來獲取多個(ge) 波長下樣品參數的光譜橢偏成像係統，該係統可以對樣品進行更多波長下的特性研究，但仍然無法提供連續光譜的測量。研究人員意識到需要實現連續光譜掃描和成像功能，才能對樣品實現全麵的研究分析。
之後的研究便將光譜橢偏和橢偏成像的優(you) 點結合。韓國慶熙大學和中科院力學所先後將單色儀(yi) 国产成人在线观看免费网站到橢偏成像技術中，研究出的連續波長掃描的光譜橢偏成像係統彌補了之前光譜測量的不足，實現單波長到多波長的光譜測量；可以測量材料在不同波長下的特性，獲取樣品上各微區的光譜橢偏信息及其分布，具有可達到原子層分析水平的縱向分辨能力、可達光學衍射極限的橫向分辨能力、連續可調的光譜分辨能力以及秒量級的時間分辨能力。該係統能對具有複雜橫向微結構的大麵積納米級層構樣品參數的空間分布特性和光譜特性進行快速的測量和分析，還可以對表麵動態過程進行實時分析，為(wei) 分析複雜橫向結構的大麵積納米級層構樣品提供了一種有效的方法。
在從(cong) 單波長橢偏成像發展到多波長橢偏成像的過程中，橫向分辨率也從(cong) 10μm 級發展到亞(ya) 微米級，達到光學衍射極限。
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