光譜橢偏技術出現後，拓寬光譜範圍成為(wei) 重要的研究方向。2009 年日本東(dong) 京大學 Sato 等提出了一種新型的光譜橢偏成像技術。
橢偏成像技術（三）- 光譜橢偏成像的發展
之前光譜橢偏成像使用單色儀(yi) 實現光譜測量，但單色儀(yi) 光譜帶寬較窄，阻擋大部分來自光源的能量，使入射光強度變弱，測量結果不理想。而新型技術利用寬帶光源和白光幹涉技術，在入射臂采用掃描幹涉儀(yi) ，通過掃描參考鏡獲得傅裏葉光譜實現光譜測量，光源的光譜分布是中心波長為(wei) 610nm和半峰全寬為(wei) 170 nm。該技術較大地拓寬了光譜帶寬，增強了光強，測量結果更加準確。
橢偏儀(yi) 大多采用透鏡將寬帶光束聚集在樣品表麵，然而透射式光學係統設計無法滿足寬光譜的測量要求，在深紫外情況下會(hui) 產(chan) 生明顯的色差問題。直到 2013 年，電子科技大學物理電子學院和中科院微電子所改變聚焦成像係統，研製了基於(yu) 全反射聚焦光學係統的深紫外（DUV）寬帶光譜橢偏儀(yi) 。該橢偏儀(yi) 采用基於(yu) 離軸拋物麵鏡和平麵反射鏡的全反射式光學係統實現寬光譜（200-1000 nm）測量，離軸拋物麵鏡用於(yu) 產(chan) 生或聚焦準直 光束，平麵反射鏡用於(yu) 改變光束方向並補償(chang) 由離軸拋物麵鏡反射引起的偏振態變化，解決(jue) 了色差問題。2016 年，合肥工業(ye) 大學和中國科學院微電子所在深紫外寬帶光譜儀(yi) 的基礎上增加快速旋轉補償(chang) 器式的橢偏結構，該結構實現了寬光譜成像，將光譜範圍拓寬到深紫外波段，橫向分辨率約為(wei) 8. 77μm×4. 92μm，並減小了係統誤差。
其測量結構如下圖所示。
全反射式橢偏成像係統結構示意圖
在拓寬光譜範圍的同時，提高測量速度和準確性也成為(wei) 成像橢偏儀(yi) 的重要研究方向。2010年，清華大學吳學健等發明了一種基於(yu) 磁光效應的成像橢偏儀(yi) ，国产成人在线观看免费网站於(yu) 對樣品表麵納米尺度薄膜厚度分布的觀測。它通過磁光調製技術來調整接收光的偏振方向；采用麵陣探測器獲取樣品表麵的橢偏圖像；采取用磁光調製器取代傳(chuan) 統步進電機轉動起偏器、補償(chang) 器或檢偏器光軸的方法來實現橢偏儀(yi) 的測量，采用磁光調製器改變接收光的偏振方向，可以得到更高的偏振方向控製精度和重複精度，而且磁光調製器的調製速度更快。該技術給成像橢偏儀(yi) 發展提供了新的方向，較大地提高了測量速度。
如果您對橢偏儀(yi) 相關(guan) 国产欧美在线有興(xing) 趣，請訪問上海昊量光電的官方網頁：
https://www.weilancj.com/three-level-56.html
相關(guan) 文獻：
1薛利軍(jun) , 李自田, 李長樂(le) , 等 . 光譜成像儀(yi) ccd 焦平 麵組件非均勻性校正技術研究[J]. 光子學報, 2006, 35(5): 693-696.
2遊海洋, 賈建虎, 陳劍科, 等 . 麵陣 CCD 探測的全自 動橢圓偏振光譜係統研究[J]. 紅外與(yu) 毫米波學報, 2003, 22(1): 45-50.
3陳修國, 袁奎, 杜衛超, 等 . 基於(yu) Mueller 矩陣成像橢 偏儀(yi) 的納米結構幾何參數大麵積測量[J]. 物理學報, 2016, 65(7): 070703.
4王戰會(hui) , 靳剛 . 光學橢偏成像技術在生物分子研究中 的国产成人在线观看免费网站[J]. 生物工程學報, 2000, 16(4): 429-432.
5包學誠 . 橢偏儀(yi) 的結構原理與(yu) 發展[J]. 現代科學儀(yi) 器, 1999(3): 58-61.
6張恒 . 基於(yu) 光度法及混合法的自動橢偏儀(yi) 研究[D]. 廣州: 華南師範大學, 2005: 21-30
7崔高增 . 深紫外成像光譜橢圓偏振儀(yi) 校準方法研究 [D]. 北京：北京工業(ye) 大學, 2014: 12-16.
8吳啟宏 . 與(yu) 消光式兼容的光度橢偏儀(yi) 的原理[J]. 光學 學報, 1987, 7(7): 618-621.
9張裕;連潔;魏銘洋;薑清芬;王宸琳;王月明;許鎮;.橢偏成像技術研究進展[J].激光與(yu) 光電子學進展,2022(10).
10代恒 . 立式成像橢偏儀(yi) 研製及国产成人在线观看免费网站[D]. 武漢: 華中科 技大學, 2018: 7-10.
更多詳情請聯係昊量光電/歡迎直接聯係昊量光電
關(guan) 於(yu) 昊量光電：
上海昊量光電設備有限国产黄色在线观看是光電国产欧美在线專(zhuan) 業(ye) 代理商，国产欧美在线包括各類激光器、光電調製器、光學測量設備、光學元件等，涉及国产成人在线观看免费网站涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫療、科學研究、國防、量子光學、生物顯微、物聯傳(chuan) 感、激光製造等；可為(wei) 客戶提供完整的設備安裝，培訓，硬件開發，軟件開發，係統集成等服務。
您可以通過我們(men) 昊量光電的官方網站www.weilancj.com了解更多的国产欧美在线信息，或直接來電谘詢4006-888-532。
