橢偏成像技術（五）光譜橢偏成像的發展（第三部分）

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橢偏成像技術（五）光譜橢偏成像的發展（第三部分）

下圖為(wei) 使用日本東(dong) 北大學的係統獲得的矽襯底上的二氧化矽納米薄膜的厚度分布。

矽襯底上的二氧化矽薄膜厚度分布

厚度刨麵在1.10 mm×2.21 mm的麵積上幾乎是平坦的，在水平和垂直方向上的空間分辨率分別為(wei) 1.58μm 和4 62μm。該係統與(yu) 光譜橢偏之間的平均厚度差小於(yu) 3nm，盡管包含大量的數據點，測量結果與(yu) 標準值的偏差小於(yu) 2.5nm。

通過與(yu) 磁光調製、時間相移和雙反射等技術的結合，光譜橢偏技術提高了測量速度和準確性。通過與(yu) Muller矩陣的結合，光譜橢偏技術不再受光學分辨率極限的限製，提高了測量的準確性，可以獲得更豐(feng) 富的信息。

2019年華中科技大學發明了基於(yu) 液晶調相的垂直物鏡式Muller矩陣成像橢偏儀(yi) ，該儀(yi) 器所用係統改變了之前普通傾(qing) 斜鏡麵成像的結構，根本上避免了焦深小、視場窄的問題，可實現高分辨率、寬視場測量，可用於(yu) 對納米薄膜幾何參數的測量。

2018年韓國朝鮮大學提出用於(yu) 表征多層膜結構的大麵積光譜成像橢偏儀(yi) ，利用寬帶光源和成像光譜儀(yi) ，光譜範圍可以達到400-800nm。準直光束通過擴束器擴展，直徑達到30mm，通過低放大率成像透鏡得到旋轉補償(chang) 器旋轉引起的偏振變化的光譜空間強度圖像，該圖像可以表征相對較大區域的薄膜厚度剖麵，橫向分辨率也已經達到4μm。至此，橢偏成像技術已經實現大視場、寬光譜成像，可以国产成人在线观看免费网站在更多方麵。

根據測量的要求，橢偏成像技術可以用作定性技術、準定量技術或完全定量技術。但是在進行完全定量測量時，需要更精確的校準、校正和計算。2019年，中科院上海光學精密機械研究所針對Muller矩陣成像橢偏儀(yi) 的係統誤差源提出了一種新的簡化分析法，分析了成像橢偏儀(yi) 的係統誤差源和隨機誤差源對測量結果的影響，適用於(yu) Muller矩陣成像橢偏儀(yi) 的誤差評定、誤差源指標分解及元件誤差補償(chang) 。

國外橢偏成像研究開始比較早，以橢偏成像技術為(wei) 基礎的科技研發較為(wei) 迅速，科研人員所研製出的各種成像橢偏儀(yi) 器也逐漸商品化。截至目前，橢偏成像技術已經在各個(ge) 国产成人在线观看免费网站方麵得到比較全麵的發展。國內(nei) 橢偏成像技術雖然起步較晚，但經過研究人員的不斷鑽研，發展較為(wei) 迅速，從(cong) 開始的基於(yu) 消光式橢偏儀(yi) 的橢偏成像測量技術發展到全Mueller矩陣型橢偏成像測量技術，實現了大麵積寬光譜測量 ，已基本走向了成熟，不亞(ya) 於(yu) 國外橢偏成像技術。

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