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橢偏成像技術(六)橢偏成像技術在材料學和半導體的国产成人在线观看免费网站

發布時間:2023-09-28 14:07:51 瀏覽量:2329 作者:Alex

摘要

隨著計算機的發展,橢偏成像技術由於(yu) 自身的優(you) 勢與(yu) 特點,結合其他測量方法,能獲得更為(wei) 豐(feng) 富的信息,在材料科學、生物學、半導體(ti) 工業(ye) 等領域得到廣泛的国产成人在线观看免费网站。

正文


橢偏成像技術(六)橢偏成像技術在材料學和半導體(ti) 的国产成人在线观看免费网站


隨著計算機的發展,橢偏成像技術由於(yu) 自身的 優(you) 勢與(yu) 特點,結合其他測量方法,能獲得更為(wei) 豐(feng) 富的信息,在材料科學、生物學、半導體(ti) 工業(ye) 等領域得到廣泛的国产成人在线观看免费网站。


材料學方麵,橢偏成像主要国产成人在线观看免费网站於(yu) 對納米薄膜的研究。例如,成像橢偏儀(yi) 的橫向分辨率達到1μm,光學特性映射到石墨烯薄片上之後,橢偏成像技術就可以用來從(cong) 任何襯底上確定石墨烯薄膜的形狀和層數,從(cong) 中提取其光學性質從(cong) 而分析不同襯底對石墨烯性質的影響。下圖為(wei) 成像橢偏儀(yi) 獲得的石墨烯薄片灰度圖和光學顯微鏡獲得的石墨烯薄片的對比。



成像橢偏儀(yi) 獲得的石墨烯薄片灰度圖和光學顯微鏡獲得的石墨烯薄片的對比。

(a)不同層數的石墨烯片的光學顯微照 片,數字代表石墨烯層數;

(b)石墨烯片在二氧化矽/矽上的成像橢偏灰度圖;

(c)(d)以更高的分辨率顯示圖(b)中方框 區域的橢偏Ψ和Δ圖


對比上圖(a)和(b)-(d)可以看出,成像橢偏適用於(yu) 區分單層和雙層石墨烯。在此之後,成像橢偏技術實現從(cong) 單波長測量到光譜測量的突破,為(wei) 測定由飛秒激光誘導的離子遷移刻寫(xie) 的通信波導的折射率對比度和色散提供了有效方法,並且能夠提供有效的光譜分辨率,從(cong) 而獲得波導的色散指數。除此之外,橢偏成像技術可以用於(yu) 對導電聚合物膜層的研究,通過橢偏成像可以獲得聚合物層的空間分布信息和不同厚度層的顯著形態差異。 此外,橢偏成像還国产成人在线观看免费网站在原位測試方麵。例如對界麵氧化層變化的分析可以顯示氧化層厚度變化,精確到納米級 。對於(yu) 水媒質中油滴到達石英固體(ti) 表麵上時形貌的變化,橢偏成像能夠準確地測定在液滴和界麵之間發生薄膜排水時液滴輪廓的變化。該技術對厚膜和薄膜的測量都很敏感,無需掃描表麵,可實時生成薄膜輪廓。到目前為(wei) 止,橢偏成像技術在納米材料檢測方麵已經取得長足的進步, 橢偏光譜成像已經可以對複雜二維分布的納米層結構薄膜樣品進行快速光譜成像定量測量,給具有複雜橫向結構的大麵積多層納米薄膜樣品的表征提供了方法,同時滿足了高分辨率、快速準確、結果直觀、實時監測的要求。


半導體(ti) 方麵,橢偏成像技術可以有效檢測半導體(ti) 材料的形態、均勻性和光學性能。例如,檢測噻吩-亞(ya) 苯基低聚物晶體(ti) 等在微電子器件和柔性電子方麵有巨大潛力的有機半導體(ti) 微晶,快速觀察和區分單層和多層微晶,獲得雙軸半導體(ti) 材料的光學特性。2020年,韓國三星設計了一種基於(yu) 橢偏成像的半導體(ti) 器件的檢查方法,用於(yu) 檢測半導體(ti) 材料的晶態、形狀、化學結構和電導率等性質。該技術還可以用於(yu) 對激光二極管(LD)的檢測,可以檢測LD發射表麵上的抗反射塗層的光學性質,從(cong) 而獲得LD的發射波長、線寬、壽命、穩定性。


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