采用偏振光p和s分量透射比、反射比、反射相移、透射相移共同表征非偏振分光鏡(NPBS)的退偏效應，建立了相應的誤差模型，從(cong) 而研究了多層介質膜NPBS的退偏效應和方位角對橢偏參數誤差的影響。
非偏振分光鏡對橢偏儀(yi) 的影響（二）-NPBS引入的橢偏參數誤差
NPBS引入的橢偏參數誤差
式(6)是假設所有器件均為(wei) 理想狀態下得到的結果。如果考慮到多層介質膜的退偏效應，NPBS的瓊斯矩陣可以表示為(wei) ：
其中：
和
分別代表NPBS的透射率和反射率，下標p，s表示平行分量和垂直分量。式(8)可以歸一化為(wei) ：
其中：
K分別是p，s分量的透射比和反射比；
分別是NPBS的反射相移和透射相移，如式(10)所示。
如果NPBS的p，s軸方向與(yu) 圖1中的Y，X軸不完全重合，而是存在一個(ge) 方位角誤差θ，則NPBS的瓊斯矩陣轉換為(wei) ：
為(wei) 簡化分析過程，首先假設NPBS2為(wei) 理想狀態，隻將NPBS1的瓊斯矩陣用式(11)表示。根據上述分析，可得測量信號和參考信號的光強：
其中：
開始測量時，可以用反射鏡代替被測薄膜，得到一個(ge) 用於(yu) 標定的幅值比
。和相位差△C。這樣NPBS1引入的橢偏參數測量誤差就可以表示為(wei) ：
如果假設NPBS1為(wei) 理想狀態，而NPBS2的非理想狀態用式(11)表示。根據上述分析，同理可得此時測量信號和參考信號的光強：
則NPBS2所引入的橢偏參數測量誤差可以表示為(wei) ：
誤差分析與(yu) 討論
NPBS的玻璃基片折射率為(wei) 1.5416，交錯鍍4層折射率分別為(wei) 2.OO和1.45的分光介質膜係，每層厚度均為(wei) 1.5λ。NPBS的光學參數如表1所示。
偏振分量 | R | T |
|
|
s | 0.9341 | 0.3571 | -0.8596 | 2.2255 |
p | 0.2064 | 0.9785 | -1.7034 | 1.4758 |
表1 NPBS的光學參數
注：
=0.3649，K=4.5257，
=0.8438，
=0.7497；符號定義(yi) 見式(8)～(10)。
後麵我們(men) 將對NPBS1與(yu) NPBS2引入的誤差分別進行分析。
了解更多詳情，請訪問上海昊量光電的官方網頁：
https://www.weilancj.com/three-level-56.html
相關(guan) 文獻：
1王勇輝,鄭春龍,趙振堂.基於(yu) 斯托克斯橢偏測量係統的多點定標法[J].中國激光,2012,39(11):163-167.
2侯俊峰,於(yu) 佳,王東(dong) 光,鄧元勇,張誌勇,孫英姿.自校準法測量波片相位延遲[J].中國激光,2012,39(4):173-179.
3王喜寶,宋連科,朱化鳳,郝殿中,蔡君古.連續偏光幹涉法測量波片寬波段延遲量變化[J].激光技術,2012,36(2):258-261.
4趙振堂,林天夏,黃佐華,何振江.利用消光式橢偏儀(yi) 精確測量波片相位延遲量[J].激光雜誌,2012,33(3):8-9.
5程一斌,侯俊峰,王東(dong) 光.組合波片的橢圓率角測量方法[J].北京理工大學學報,2019,39(7):750-755.
6於(yu) 德洪,李國華,蘇美開,宋連科.任意波長雲(yun) 母波片位相延遲的測量[J].光電子．激光,1990,1(5):267-269.
7徐文東(dong) ,李錫善.波片相位延遲量精密測量新方法[J].光學學報,1994,14(10):1096-1101.
8薛慶文,李國華.半陰法測量λ/4波片的相位延遲[J].光電子．激光,1998,9(2):150-151.
9AzzamR.M.A.,Bashara,N.M.ellipsometryandPolarizedLight[M].NewYork:North-Holland,1977,198-201.
10孫英姿,王東(dong) 光,張誌勇,鄧元勇,張洪起,玄偉(wei) 佳.波片相位延遲的光強測量法研究[J].天文研究與(yu) 技術,2008,5(1):74-82.
更多詳情請聯係昊量光電/歡迎直接聯係昊量光電
關(guan) 於(yu) 昊量光電：
上海昊量光電設備有限国产黄色在线观看是光電国产欧美在线專(zhuan) 業(ye) 代理商，国产欧美在线包括各類激光器、光電調製器、光學測量設備、光學元件等，涉及国产成人在线观看免费网站涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫療、科學研究、國防、量子光學、生物顯微、物聯傳(chuan) 感、激光製造等；可為(wei) 客戶提供完整的設備安裝，培訓，硬件開發，軟件開發，係統集成等服務。
您可以通過我們(men) 昊量光電的官方網站www.weilancj.com了解更多的国产欧美在线信息，或直接來電谘詢4006-888-532。
