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精密位移傳感器技術比較

發布時間:2022-03-15 14:50:42 瀏覽量:4253 作者:Grin

摘要

多年來,納米定位傳(chuan) 感器領域電容式傳(chuan) 感器一直占據市場主導地位。但這項技術存在明顯的局限性。PIEZOCONCEPT經過多年研究,開發出矽基高靈敏度位置傳(chuan) 感器(Silicon HR)技術,Si-HR傳(chuan) 感器可以實現更高的穩定性和線性度,以滿足現代顯微鏡技術的更高分辨率要求。 

正文

精密位移傳(chuan) 感器技術比較


PIEZOCONCEPT 在其壓電級中使用什麽(me) 類型的位移傳(chuan) 感器?為(wei) 什麽(me) 它優(you) 於(yu) 其他傳(chuan) 感器技術?

PIEZOCONCEPT 使用單晶矽傳(chuan) 感器,稱為(wei) Si-HR 傳(chuan) 感器。盡管它是應變儀(yi) 傳(chuan) 感器大係列的一部分,但它的性能優(you) 於(yu) 其他兩(liang) 種常用技術(電容式傳(chuan) 感器和金屬應變儀(yi) )。這兩(liang) 種位置傳(chuan) 感技術有其自身的特定缺點。


    

電容式傳(chuan) 感器與(yu) PIEZOCONCEPT 国产黄色在线观看Si-HR 傳(chuan) 感器的比較

電容式傳(chuan) 感器非常常用。他們(men) 提供了不錯的表現,但他們(men) 對以下情況很敏感:

• 氣壓變化:空氣的介電常數取決(jue) 於(yu) 氣壓。電容測量將受到任何壓力變化的影響。

• 溫度變化:同樣的,空氣的介電常數會(hui) 隨溫度變化

• 汙染物的存在


以上所有都會(hui) 導致一些納米級的不穩定性,因此如果您想實現真正的亞(ya) 納米級穩定性,則需要將它們(men) 考慮在內(nei) 。即使可以對氣壓和溫度進行校正,也無法校正其他因素(汙染物、脫氣)的影響。這解釋了電容式傳(chuan) 感器在真空環境中性能不佳的原因。此外,電容式傳(chuan) 感器非常昂貴且體(ti) 積龐大。因此,帶有電容傳(chuan) 感器的位移台不可能做的有像的 BIO3/LT3 這樣薄,即使設計的好也會(hui) 在穩定性方麵進一步犧牲性能。


因為(wei) 它是一種固態技術,所以Si-HR 傳(chuan) 感器的電阻不依賴於(yu) 氣壓或汙染物的存在。其次,溫度變化會(hui) 對測量產(chan) 生影響(主要是因為(wei) 材料的熱膨脹),但這可以通過使用傳(chuan) 感器陣列來糾正。基本上,我們(men) 為(wei) 每個(ge) 軸平行使用 2 個(ge) 矽傳(chuan) 感器 - 一個(ge) 用於(yu) 測量,另一個(ge) 用於(yu) 考慮由於(yu) 溫度變化導致的材料膨脹。


金屬應變計與(yu) PIEZOCONCEPT Silicon HR 技術的比較

金屬應變計與(yu) 我們(men) 的 Silicon HR 技術(也是應變計)之間的差異更大。金屬應變計和矽傳(chuan) 感器應變計之間存在兩(liang) 個(ge) 巨大差異。

競爭(zheng) 對手試圖說所有的應變儀(yi) 都具有相同的性能,因為(wei) 它們(men) 測量的是應變。這是不正確的。半導體(ti) 應變計在穩定性方麵與(yu) 金屬應變計有很大不同。


金屬應變計和Si-HR 傳(chuan) 感器(PIEZOCONCEPT 使用)之間的第1個(ge) 區別是應變係數:半導體(ti) 應變儀(yi) (Si-HR)的應變係數大約是金屬應變儀(yi) 的 100 倍。更高的規格因子導致更高的信噪比,zui終導致更高的穩定性。    更重要的是,第二個(ge) 區別是金屬應變計不能直接安裝在彎曲本身上(即實現運動的地方):金屬應變計必須安裝在某種“背襯”上。因此,它必須安裝在執行器本身上,因為(wei) 您沒有足夠的空間將其安裝在撓性件上。僅(jin) 在執行器上測量的問題是壓電執行器有很多缺陷......存在蠕變或滯後等現象。因此,由於(yu) 壓電執行器的伸長不均勻,因此僅(jin) 測量執行器的部分伸長率並不能精確地扣除其完全伸長率。通過對彎曲本身進行測量,我們(men) 不會(hui) 遇到這種“不均勻”問題。由於(yu) 上述原因,如果您比較應變計(金屬)和 PIEZOCONCEPT 的Si-HR 傳(chuan) 感器,在信噪比和穩定性方麵存在巨大差異。 


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PIEZOCONCEPT 是壓電納米位移台領域的供應商,其国产成人在线观看免费网站領域包括但不限於(yu) 超分辨率顯微鏡、光阱、納米工業(ye) 和原子力顯微鏡。其国产欧美在线已被國內(nei) 外yi流大學和研究所從(cong) 事前沿研究的知名科學家使用,在工業(ye) 和科研領域受到廣泛好評。 

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PIEZOCONCEPT的目標是為(wei) 客戶提供一個(ge) 物美價(jia) 廉的納米或亞(ya) 納米定位解決(jue) 方案,讓客戶享受到市麵上非常高的定位準確性和穩定性的国产欧美在线使用體(ti) 驗。我們(men) 開發了一係列超穩定的納米定位器件,包含單軸、兩(liang) 軸、三軸、物鏡掃描台、快反鏡和配套器件,覆蓋5-1500um行程,品類豐(feng) 富,並提供各類定製化服務。與(yu) 市場上已有的国产欧美在线相比具有顯著優(you) 勢,Piezoconcept的矽傳(chuan) 感器具有很好的穩定性、超本低噪聲和超高的信號反饋,該技術優(you) 於(yu) 市場上昂貴的高端電容傳(chuan) 感器。因此,我們(men) 的舞台通過其簡單而高效的柔性設計和超本低噪聲電子器件提供皮米級穩定性和亞(ya) 納米(或亞(ya) 納米弧度)本底噪聲。


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